Analysieren und messen

Das Röntgenfluoreszenz-Spektrometer Fischerscope X-Ray XDV SD von Helmut Fischer ist speziell auf das Analysieren von Elektronikbauteilen ausgelegt. Der Halbleiter-Detektor besitzt eine hohe Energieauflösung von 200 eV, was es ermöglicht, die Spektren von Elementen getrennt darzustellen, die im Periodensystem benachbart liegen. Daraus ergibt sich eine zuverlässige Spektrenauswertung und Nachweisbarkeit. Beim Messen und Analysieren der Dünnschicht-Solarzellen wählt man Kollimatoren mit bis zu 3 mm Durchmesser. Das sorgt für hohe Strahlintensität und Zählraten. Zur Auswertung steht ein digitaler Pulsprozessor den Messgeräten zur Verfügung, der speziell für hohe Röntgenfluoreszenz-Intensitäten geeignet ist. Eine Kombination, die für hohe Wiederholpräzision auch bei dünnen Schichten sorgt. Die Mess- und Auswert-Software WinFTM erkennt und unterscheidet bis zu 24 Elemente im Schichtsystem auch bei eng nebeneinander liegenden Spektren-Peaks. So können Elemente aus der Glas-Trägerschicht oder einer Molybdän-Grundsubstanz gut von den Halbleitern der polykristallinen Dünnschicht unterschieden werden. Ebenso bleiben die Analysen der Halbleiter-Substrate unbeeinflusst von Deckschichten. Auch ermöglicht die Software standardfreie Messung und Analyse. Der programmierbare Messtisch mit 250 x 250 mm Fläche vereinfacht und automatisiert das Messen an mehreren Positionen auf größeren Solarzellen. Durch ihren kompakten Aufbau lassen sich die Messgeräte in der Produktion betreiben, spezielle Ausführungen ermöglichen sogar Messungen im Vakuum.

EPP 460