Eine Erfolgsbilanz präsentiert die DAS Dünnschicht Anlagen Systeme aus Dresden im zehnten Jahr ihres Bestehens: „Das Geschäftsjahr 2000 war das bislang erfolgreichste der Firmengeschichte“, berichtet Dr. Horst Reichardt, Geschäftsführender Gesellschafter. Das Unternehmen lieferte 157 Anlagen aus und erzielte damit 34,8 Millionen DM Umsatz. Der Equipmenthersteller hat 120 Arbeitsplätze geschaffen, mehr als die Hälfte davon in Dresden.
DAS entwickelt Verfahren und fertigt Anlagen zur Entsorgung gefährlicher Gase, wie sie beispielsweise durch verschiede-ne Arbeitsschritte bei der Erzeugung von Chips aus Siliziumwafern entstehen. Das Unternehmen kombiniert dafür in einer sogenannten Escape-Maschine auf einer Grundfläche von knapp einem Quadratmeter die Arbeitsschritte Verbrennen und Waschen: Zunächst werden die Prozessgase kontrolliert abgebrannt, und an-schließend werden die entstehenden Abgase mit Hilfe einer Waschflüssigkeit gereinigt. Die-ses Grundprinzip erwies sich als äußerst flexibel und vielseitig einsetzbar. „Damit bewältigen wir alle Prozessgase der Halbleiterindustrie – von leicht brennbaren bis hin zu jenen, die nicht so einfach zu entsorgen sind, wie PFC“, sagt Reichardt, „und das mit einer Effizienz, die keiner der Mitbewerber auch nur annähernd erreicht.“ Allein bei Infineon in Dresden stehen mehr als 130 DAS-Anlagen. Sie werden vom Hersteller auch betrieben, und rund um die Uhr per Computer überwacht.
Das sächsische Unternehmen konnte sich in allen wichtigen Märkten etablieren – Singapur, Malaysia, Taiwan, Japan, USA. Das 500. Escape-System beispielsweise wurde im vergangenen Jahr an First Silicon Kuching, Malaysia, ausgeliefert. Reichardts Erfolgsrezept: Nicht zuviel Respekt vor der Konjunktur in der Halbleiterin-dustrie. „Wir haben in der Kri-se weiter kräftig investiert, und damit alle Voraussetzungen ge-schaffen, um mit der Bran-che erfolgreich durchzustarten.“ DAS ist es gelungen, sich weltweit durchzusetzen. Pünkt-lich zum Firmenjubiläum erhielt der Anlagenbauer den ersten Auftrag aus China. Dort sieht Reichardt einen „inter-essanten neuen Markt für die Zukunft“, und dort engagiert sich das Unternehmen deshalb stark. Die Aussichten für das laufende Geschäftsjahr beurteilt Reichardt dennoch nüchtern: „In diesem Jahr ist kein Wachstum möglich.“ Trotz der Krise, in der sich die Halb-leiterhersteller weltweit der-zeit befinden, will der Geschäftsführer aber einen Umsatz in Vorjahreshöhe erreichen. Und den Grundstein für das neue Firmengebäude le-gen. (Anke Müller)
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