Genaueste Messungen für Flüssigkeitsflussraten

Der neueste Flüssigkeitssensor des Schweizer Sensorherstellers Sensirion überzeugt durch seine hochreinen Materialien und exzellente Messgenauigkeit. Der kleine Sensor mit dem Namen SLQ-QT500 trifft damit genau die Bedürfnisse der Halbleiterindustrie: „Der SLQ-QT500 passt ideal zu den hohen Reinheitsanforderungen der Halbleiterindustrie. Er kann für die Überwachung von Beschichtungsprozessen mit einer Vielzahl von Flüssigkeiten verwendet werden und ermöglicht optimale Prozesssicherheit.“ sagt Dr. Andres Laib, Director of Sales Liquid Flow Products. Der Sensor deckt Flussraten von 0–120ml/min ab. Dabei ist sein Flusskanal wie bei allen Flüssigkeitssensoren des Unternehmens absolut gerade und ohne bewegliche Teilchen. Der Sensor basiert auf der patentierten CMOSens Technologie und misst mikrothermisch durch die Kapillarwand des Flusskanals hindurch – so kommt der Chip nicht mit der zu messenden Flüssigkeit in Berührung. Lediglich die PFA-Anschlüsse sowie der Quarzglas-Flusskanal stehen in unmittelbarem Kontakt mit der Flüssigkeit. Dies garantiert dem Sensor eine äusserst hohe chemische Beständigkeit. Dank dieser Eigenschaften sowie der digitalen Schnittstelle RS485 wird eine aussergewöhnlich zuverlässige Messung mit einer Sampling Rate von bis zu 1ms erreicht. Selbst Flüssigkeiten mit einer sehr hohen Viskosität (100.000cp und höher) stellen kein Problem dar. Andres Laib meint: „Der Sensor ist sowohl für Messungen von Lösungsmittel auf Kohlenwasserstoffbasis wie zum Beispiel Fotolack sowie für auf Wasser basierenden Flüssigkeiten wie TARC und H2O2 geeignet. Zudem können Flüssigkeiten mit praktisch jeder Viskosität sowie Flüssigkeiten mit Partikeln gemessen werden. Dies macht den Sensor einzigartig im Flusssensor-Bereich.”