Keithley stellt mit dem S510 Semiconductor Reliability Test System eine Lösung mit hoher Kanalzahl für Zuverlässigkeitstest und die Modellierung der Lebensdauer bei ULSI-CMOS-Prozessen mit 65 nm und darüber hinaus vor. Es bietet im Bereich der Wafer-Level-Reliability (WLR)-Tests hohen Durchsatz und Flexibilität, wodurch der Zeitaufwand reduziert wird. Das System kann auch für die WLR-Überwachung in der Produktion oder als parametrisches Testsystem im Labor genutzt werden. Es führt vollautomatisch mit mehreren Kanälen parallel Zuverlässigkeitstests aus, lässt sich mit 20 bis 72 Kanälen ausstatten, verfügt über einen unabhängigen Stress-/Messkanal für jede Struktur und kann simultane Messung an allen Kanälen durchführen. In Verbindung mit einem halbautomatischen oder vollautomatischen Probersystem lassen sich so mehrere Bauteile gleichzeitig auf einem Wafer testen. Zur Erreichung kürzerer Entwicklungszeiten werden die NBTI (Negative Bias Temperature Instability)- und TDDB (Time Dependent Dielectric Breakdown)-Messungen in den Wafertest verlagert. Das System ermöglicht durch die SMU-pro-Bauteil-Architektur parallele NBTI- und TDDB-Tests mit hohen Kanalzahlen, wobei durch die Automatisierungsmöglichkeiten ein maximaler Anlagendurchsatz erreicht wird. Durch Zuordnung einer SMU für jeden Bauteilpin ist ein nahtloser Übergang zwischen den Stress- und Messzyklen und eine gute Überwachung der Bauteil-Relaxation während der NBTI-Tests möglich. Dies erlaubt eine lückenlose Überwachung der Bauteile während der Stresszyklen. Das S510 kann mit einem vollautomatischen Produktionsprober kombiniert werden, seine Funktionen basieren auf der Testautomatisierungssoftware KTE . Neben den Tests kann das System für die Bauteilcharakterisierung verwendet werden, wodurch Zeit und Kosten für die Beschaffung und Konfiguration eines gesonderten Systems einspart werden.
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