Das Wetzlarer Optikunternehmen stellte sein Wasserimmersionsobjektiv DUV AT WI mit einer nochmals vergrößerten Auflösung vor. Das Objektiv hat 19 Linsen, die kittfrei miteinander verbunden werden, und eine Auflösung von 60 Nanometer erreichen. Der Schlüssel zu diesem Fortschritt heißt Wasserimmersion. Zwischen dem Objekt, zum Beispiel einer Maske, und dem Objektiv wird ein kleiner Wassertropfen aufgebracht, der als Immersionsmedium dient. Da die Brechzahl von Wasser höher ist, als die Brechzahl von Luft, und eine höhere Brechzahl die Auflösung steigert, bringt das Objektiv im Vergleich zum vorgängermodell 25% mehr Auflösungsleistung.
EPP 475
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