Die ID-Beschriftung von LED-Wafern auf Saphir-Basis erfolgt meist nur sehr selten nach den aktuellen SEMI-Normen. Das erschwert sowohl die Rückverfolgbarkeit als auch die Qualitätssicherung in der Produktion. InnoLas Semiconductor GmbH löst dieses Problem mit seinen leistungsfähigen Beschriftungs-, Lese- und Sortiersystemen, die alle SEMI-Standard-Fonts, inklusive OCR, 2-D-Cellcode und Barcode beherrschen. Die kompakten und halb- oder vollautomatischen Systeme IL1000, IL 2000 und IL 3000 bearbeiten jeweils Horden mit bis zu 25 Wafern und kompensieren dabei Positionstoleranzen in Echtzeit. Um eine hundertprozentige und beschädigungsfreie Nutzung der polierten Oberfläche zu gewährleisten, werden die Wafer beim Transport nur auf der unpolierten Seite (Vakuum-Handling) beziehungsweise an der Kante (Edge Grip) berührt und, falls erforderlich, im Prozess bis zu zweimal geflippt. Je nach Prozess wird ein Durchsatz von bis zu 240 Wafern pro Stunde erreicht. Mit diesen Systemen sichern sich Hersteller von LED-Wafern einen Qualitäts- und Geschwindigkeitsvorsprung im gesamten Fertigungsprozess.
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