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Schichtdicken auf feinen Strukturen messen

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Schichtdicken auf feinen Strukturen messen

Schichtdicken auf feinen Strukturen messen
Fischer hat ein Röntgenfluoreszenz-Messgerät herausgebracht, mit dem Schichtdicken auf kleinsten Strukturen wirtschaftlich gemessen werden können. Bisherige Systeme waren entweder aufgrund ihrer aufwändigen Konstruktion sehr teuer oder mindern beim Abblenden der Primärstrahlung die Intensität so weit, dass die Messergebnisse unbrauchbar werden. Bei dem Fischerscope X-Ray XDVM-µ wird der Röntgenstrahl mit 90 % Intensität auf einen Messfleck von 20 x 50 µm² fokussiert. Beim Positionieren des Messstrahls hilft eine Videokamera, womit der Bediener die zu messenden Oberflächen stark vergrößert auf einem PC-Bildschirm betrachten kann. Das Gerät erreicht mit dem programmierbaren Probentisch eine Positioniergenauigkeit von ca. 3 µm. In Kombination mit der Auswerte-Soft-ware WinFTM V6 können bis zu 24 Elemente in beliebig vielen Einzelschichten analysiert werden.

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