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System zur 3D-Metrologie und Analyse

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System zur 3D-Metrologie und Analyse

System zur 3D-Metrologie und Analyse
nanoCT einer Silizium-Durchkontaktierung (TSV) mit 50 µm Durchmesser in einem elektronischen Bauteil: in der Kupferfüllung sind Poren detektierbar
Das phoenix nanotom m von GE Inspection Technologies wurde speziell für die schnell wachsende Nachfrage an hochauflösender und -präziser Röntgen-Computertomographie (CT) für zerstörungsfreie 3D-Metrologie und -Analyse. Mit vollautomatischer CT-Scan-Durchführung, Volumenrekonstruktion und -auswertung bietet es eine einfache Bedienung sowie schnelle und reproduzierbare Ergebnisse in einem breiten Anwendungsspektrum.

Oliver Brunke, Produktmanager für CT im Unternehmen, hebt hervor: „Verglichen mit dem gegenwärtigen Stand der Technik von phoenix|x-ray nanoCT Systemen bietet das neue phoenix nanotom m aufgrund seiner extrem hohen Langzeitstabilität eine bedeutend bessere Objektdurchdringung und Bildschärfe sowie noch weniger Bild-Artefakte und Anomalien. Zudem können CT-Scans aufgrund des hervorragenden Kontrast-Rausch-Verhältnisses bei gleicher Auflösung und Bildqualität bis zu vier Mal schneller durchgeführt werden.”
Das System verfügt über eine 180 kV / 15 W high-power nanofocus Röntgenröhre, die für Langzeitstabilität optimiert wurde und das Scannen von stark absorbierenden Materialien wie Metall und Keramik ermöglicht. Eine interne Röhrenkühlung verringert thermische Drift-Effekte, so dass die insbesondere im Bereich der wissenschaftlichen Forschung oftmals geforderten Langzeitscans jetzt noch schärfere Bilder liefern. Der temperaturstabilisierte digitale GE DXR 500L Detektor (3072 x 2400 Pixel) ermöglicht eine hohe Dynamik. Aufgrund der großen Detektorfläche können Proben bis zu einer Größe von 250 mm x 240 mm untersucht werden. Das System ist in der Lage, eine minimale Voxelgröße bis max. 300 nm (0,3 µm) zu erzielen. Durch die Kombination von originärer GE-Technologie hinsichtlich Röntgenröhre, Detektor, Generator und CT-Software kann das System ein breites Anwendungsspektrum abdecken. Das phoenix nanotom m ist mit einem umfangreichen 3D-Metrologie-Paket erhältlich. Dieses ist für eine stabile Messumgebung optimiert und bietet schnelle Rekonstruktion und präzise reproduzierbare Messergebnisse innerhalb weniger Minuten. Es verfügt über eine temperaturstabilisierte Kabine und ein hochpräzises Direktmesssystem für alle relevanten Linearachsen einschließlich einer Vibrationsdämpfung des Manipulators. Darüber hinaus beinhaltet das Paket Kalibrierobjekte und die GE phoenix datos|x 2.0 CT Software-Pakete “click & measure|CT” und “Metrologie”. Damit kann die gesamte CT-Prozesskette voll automatisiert werden, sodass die erforderliche Bedienzeit bis auf ein Fünftel reduziert werden kann. Sobald das entsprechende Setup für eine Probe programmiert ist, läuft der gesamte Scan- und Rekonstruktionsprozess, einschließlich Volumenoptimierung oder Oberflächenextraktion, ohne Bedienereingriff komplett selbstständig ab. Zudem können 3D- Messungen oder Fehleranalyseaufgaben, bei denen Fremdsoftware zum Einsatz kommt, automatisch durchgeführt werden. Nach Ablauf-Programmierung ist unter normalen Bedingungen sogar bei komplexen internen Geometrien die automatische Erstellung eines Erstmusterprüfberichtes innerhalb einer Stunde möglich.
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