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300-mm-Mask-Aligner für Advanced-Packaging

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300-mm-Mask-Aligner für Advanced-Packaging

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Suss-Microtec stellt den Proximity-Mask-Aligner MA300Plus vor, der für die Verarbeitung von 300 mm-Wafern ausgelegt ist. Er wurde für die Fertigung hoher Stückzahlen entwickelt und bietet einen Durchsatz von 100 Wafern/h. Die Maschine ist so konstruiert, dass man ohne großen Umrüstaufwand schnell zwischen der Verarbeitung von 200-und 300 mm-Wafern wechseln kann. Damit eignet sich die Maschine besonders als „Bridge-Tool“ für die Zeit des Übergangs zur 300-mm-Wafer-Generation. Da das Gerät die Wafer in nur einem einzigen Schritt belichtet, soll es einen fünfmal höheren Durchsatz als vergleichbare Stepper erreichen. Zu den wesentlichen Merkmalen des neuen Mask-Aligners gehören eine Auflösung bis zu 5 µm, eine Justiergenauigkeit von 1 µm und eine Intensität von 90 mW/cm² über das gesamte Belichtungsfeld für einen 300 mm-Wafer. Die integrierte Kommunikations-Software basiert auf den von der SEMI verabschiedeten Standards SECS und GEM. Eine automatische Intensitätskalibrierung stellt die gleichmäßige Belichtung über die gesamte Wafer-Oberfläche sicher.

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