Badumwälzung für die Halbleiterfertigung

Mit der SL 10 komplettiert Almatec sein Pumpenprogramm für die Halbleiterindustrie, Futur-Plus. Somit stehen in der PTFE-TFM-Ausführung für Säuren und Laugen vier Baugrößen (SL 10, SL 20, SL 50, SL 100) zur Verfügung. Die neue Pumpe deckt mit einer maximalen Förderleistung von 10 l/min den unteren Leistungsbereich ab und kann für Temperaturen bis 200 °C eingesetzt werden. Als trockenlaufsichere und selbstansaugende Druckluft-Membranpumpe wird das Gerät vom Fördermedium innendurchströmt, d.h. das Fördermedium fließt durch das Zentralgehäuse, während Luftsteuersystem und Luftkammern außen angeordnet sind. Dies ermöglicht nur ein einziges produktberührtes Gehäuseteil mit einer kleinstmöglichen Oberfläche, lediglich zwei Umlenkungen, keine aufeinander gleitenden Bauteile im Produktraum und den Verzicht auf Dichtungen. Die Gehäusebauteile der SL 10 bestehen aus PTFE-TFM, das eine universelle chemische Beständigkeit aufweist und gegenüber dem normalen PTFE den Vorzug höherer Festigkeit und Oberflächendichte hat. Bauteile aus diesem Werkstoff sind außerordentlich glatt und porenfrei, was der Partikelgenerierung entgegen wirkt.