Leybold hat drei digital gesteuerte Turbo-Molekularpumpen für Halbleiter-Prozesse auf den Markt gebracht. Die Pumpen basieren auf der Technik der fünfachsigen aktiven MAG 2000, besitzen aber außerdem eine auf hohe Gasdurchsätze optimierte Rotorkonstruktion und ein Temperaturmanagement-System, das bis 100 °C geregelt werden kann. Das ist besonders bei Metall-Ätzprozessen wichtig, um eine Anhäufung von Partikeln im Inneren der Pumpe zu verhindern. Da Wandler und Pumpen nicht gepaart sind, können sie unabhängig voneinander ausgetauscht werden und ein Tuning ist nicht erforderlich. Die Modelle sind mit einem Pur-ge-Gasventil mit integriertem Druckminderer ausgestattet, der eine Stickstoff-Versorgung zwischen 1,5 und 6 bar zulässt. Zubehörteile wie Purge- oder Vent-Ventil und TMS sind in den Pumpen integriert und werden vom MAG-Antrieb betrieben. Separate Komponenten müssen dazu nicht installiert werden.
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