Hirata Robotics hat für den Reinraum der Halbleiterindustrie seine Roboter-Serie AR-W erweitert, die im Niedrig- bzw. Hochvakuum betrieben werden kann. Die Roboter sind mit einem oder zwei Roboterarmen erhältlich und können in Loadports integriert werden, die an die eigentliche Anlage zur Waferbearbeitung angedockt sind. Durch ihren Fußdurchmesser von 235 bzw. 360 mm benötigen sie wenig Platz beim Einbau. Die neuen Modelle sind für die Handhabung von 2 bis 12” großen Waferscheiben beim Be- und Entladen von Waferbearbeitungsmaschinen konzipiert. Die beiden Hochvakuum-Modelle erfüllen mit der Reinraumklasse 1 die höchsten Anforderungen für diese Umgebung, die drei Niedrigvakuum-Modelle sind für Reinraumklasse 2 konzipiert. Bei einem Arbeitsbereich von 440/500/608 bzw. 730 mm und einem Gesamtgewicht von 35/40/47 bzw. 58 kg liegt das Handhabungsgewicht bei 800 g. Die Roboter werden komplett mit einer entsprechenden Steuerung geliefert, für das Handling vor der Bearbeitungsmaschine wird weiteres Zubehör angeboten.
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