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Hub-Dreheinheit für Wafer

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Hub-Dreheinheit für Wafer

Hub-Dreheinheit für Wafer
LPKF stellte die Hub-Dreheinheit Z-w 2/190 für das extrem schnelle und präzise Positionieren von Wafern in Ausrüstungen der Chipindustrie vor. Der Bewegungsbereich beträgt 20 mm bzw. ±95°. Wegen seiner kleinen und kompakten Bauweise ist das System auch zum Aufbau auf die Kreuztische geeignet. In Kombination mit dem 3D-Korrekturalgorithmus sind Z-Fehler des Gesamtsystems korrigierbar. Die Einheit ist auf einer Grundplatte aufgebaut, die den Kundenanforderungen angepasst werden kann. Die Führung in Z-Richtung wird mit einer genauen Kugelführung realisiert. Der Antrieb Drehachse erfolgt mit einem rotatorischen Direktantrieb, die Hubachse wird durch eine Tauchspul-Motor-Baugruppe bewegt. Ein kombiniertes Z-w-Messsystem dient zur Positionsbestimmung. Vakuumchucks können optional angeboten werden, für kleinere Drehbereiche bei ±10° kann die Hub-Dreheinheit Z-w 2/20 eingesetzt werden.

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