Inspektionssystem für Glaswafer

EVT hat das GWI System speziell entwickelt, um Fehler auf Wafern in einem frühen Stadium in der Produktion zu erkennen. Das System basiert auf einer hochauflösenden smart Kamera, welche ein Bild vom Wafer aufnimmt. Um die geforderte Genauigkeit in der Fehlererkennung zu erreichen wird ein 5 MPixel Sensor verwendet. Selbstverständlich stehen auch höhere Auflösungen zur Verfügung. Das komplette System besteht aus einer schwarzen Aluminium Struktur. Eine hochleistungsfähige LED Beleuchtung erhellt den Wafer von der Unterseite. Abhängig von der Größe des zu inspizierenden Wafers, variiert auch der Durchmesser der Aussparung für die Beleuchtung. Die Kommunikation zur Prüfeinheit kann entweder via Ethernet oder RS232 erfolgen und optional auch via USB.

Die Bildverarbeitung erfolgt komplett in der smart Kamera durch die ARM Cortex A8 CPU mit 1GHz und der zusätzlichen 800MHz DSP. Das Bild des Wafers wird aufgenommen und sofort in der Kamera ausgewertet. Die Ergebnisdaten und Bilder werden zur SPS übertragen. Zusätzlich gibt es die Möglichkeit ein Display direkt an der Kamera anzuschließen um die Ergebnisse an einem Monitor zu sehen. Zur Durchführung des Auswerteprozesses sind Ethernet, RS232 und Power I/O Anschlüsse vorhanden. Das System beruht auf einem 5 MPixel CMOS Sensor, oder aber einem CCD Sensor in demselben Gehäuse. Mit einem CCD Sensor sind weitere Optionen verfügbar, welche interessant sind um andere Fehler als in diese Dokumentation beschrieben, zu erkennen.

Das System ist basierend auf einem Windows PC programmiert. Nach der Programmierung wird das System vom PC getrennt und die Kommunikation zum System erfolgt anhand eines Kommunikationsprotokolls. Das dazugehörige GWIP wurde für die Analyse von Glaswafern, um Fehler an deren Oberfläche zu erkennen, entwickelt. Das Programm kann darüber hinaus einfach für diverse Defekte angepasst werden, solange sie im Bild erkannt werden können. Die Software beruht auf der EyeVision 2.6 R036 LTS (Long Term Support) Version. Diese Version wird ersetzt mit der neuen Generation, der EyeVision 3.0 Version welche auch Asiatische Sprachen unterstützt und anderen neuen Funktionen. Mit der nächsten Software Generation wird das Einlernen von Prüfprogrammen auch mit Linux Systemen möglich.