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Konfokale und interferometrische Messtechnik in einem Gerät kombiniert

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Konfokale und interferometrische Messtechnik in einem Gerät kombiniert

Dual Technology, kurz DT, steht auf dem neuen Microspy Topo von Fries Research & Technology (FRT). Diese zwei Buchstaben signalisieren die besondere Stärke des vielseitigen Oberflächenmessgeräts: die Kombination eines Spinning-Disc Konfokalmikroskops mit einem Weisslicht-Interferometer. Damit lassen sich sowohl minimal als auch stärker strukturierte Proben berührungslos, zerstörungsfrei und binnen weniger Sekunden mit Mikro- und Nanometerauflösung vermessen. Konzipiert wurde das optische Messgerät für Anwender in der Forschung und Produktentwicklung sowie der begleitenden Produktionskontrolle zum Beispiel zur Messung von Rauheit, Kontur und 3D-Topographie. Dank seines Objektivrevolvers ist der Microspy Topo DT in der Lage, gleichzeitig bis zu sechs verschiedene Objektive aufzunehmen, die durch einfaches Drehen schnell gewechselt werden können. Die Positionierung der Proben erfolgt per motorisiertem Verfahrtisch und CCD-Kamera. Das kompakte Single-Sensor-System ist auf einer hochwertigen Granitbasis aufgebaut, wodurch maximale Systemstabilität und metrologisch rückführbare Ergebnisse ermöglicht werden.

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