Die Fraunhofer-Einrichtung für Modulare Festkörper-Technologien EMFT, Siemens AG, LFoundry GmbH, Ketek GmbH und Süss MicroTec AG gaben die Gründung des Center für Mikrosystemintegration München (CMM) bekannt. Durch die Zusammenarbeit der renommierten Partner mit umfassender Expertise bei der Technologie- und Produktentwicklung im Bereich Mikrosystemtechnik entsteht mit dem CMM ein leistungsstarkes und effizientes Technologie-Netzwerk. Das neu geschaffene Center geht über bilaterale Kooperationen hinaus und soll als Keimzelle für ein Mikrosystemtechnik-Zentrum fungieren, das offen für die Erweiterung mit entsprechenden Partnern ist.
Mikrosystemtechnik ist ein Wachstumsmarkt und einer der wesentlichen Innovationsmotoren für nahezu alle Produkt- und Wirtschaftsbereiche. Die Anwendungsgebiete reichen vom Maschinenbau, über die Automobil-, Telekommunikations-, Konsum- und Leistungselektronik bis hin zur Medizin- und chemischen Verfahrenstechnik. Neben der Entwicklung und Realisierung der eigentlichen Mikrosysteme ist deren Integration in ein Makrosystem, wie z.B. ein Mobiltelefon oder Automobil, eine weitere wesentliche Aufgabe der Mikrosystemtechnik.
Die Kooperation beinhaltet in einem ersten Schritt die gemeinsame Technologie- und Produktentwicklung in den Bereichen Mikrosystem-Technologie, CMOS- bzw. fortschrittliche Silizium-Prozesse sowie vertikale Systemintegration (3D-Aufbau). Dafür bündeln die Kooperationspartner im CMM ihre Ressourcen. Einerseits werden vorhandene Reinräume und Labore der Partner gemeinsam genutzt, wobei bei Bedarf entsprechendes Equipment verlagert wird. Andererseits kann so auf redundante Räumlichkeiten bzw. Anlagen verzichtet werden. So entsteht ein gemeinsamer, sich ergänzender Technologie-, Anlagen- und Know-how Pool mit modernen leistungsfähigen und kosteneffizienten Prozess-Einrichtungen. Durch die effizientere Nutzung der Reinräume und kostspieligen Geräte bzw. Prozesse mit ihrem hohen Investitions- und Wartungsaufwand können die Entwicklungskosten reduziert werden. Damit wird die internationale Wettbewerbsfähigkeit gesichert, während andererseits das adressierte Produktspektrum erweitert werden kann.
Die Kooperationspartner sind bisher schon auf gemeinsamen Aktivitätsfeldern wie MEMS (Mikro-Elektro-Mechanische Systeme), Silizium-Prozesse oder neue Materialien tätig, aber auch mit unterschiedlichem Fokus in Bereichen wie der vertikalen Systemintegration oder leistungsfähigen Gehäusen. Damit ergeben sich vielfältige Möglichkeiten der gemeinsamen Zusammenarbeit und für künftige Erweiterungen. Endprodukte, die von dem Leistungsspektrum des CMM bei innovativen Mikrosystemtechnik-Produkten profitieren können, reichen von Sensoren, Aktoren und Embedded-Systemen über Solarzellen und LED-Beleuchtungstechnik über bis hin zur medizinischen Diagnose.
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