Asymtek (Vertretung durch Peter Jordan) hat für die Dispenser-Systeme der Serie Millennium M-2000 einen kontaktfreien Laser-Höhensensor vorgestellt. Der Sensor misst die Dispens-Höhe bei empfindlichen Substraten, Hybriden und ICs. Durch die kontaktlose Hochgeschwindigkeits-Messung werden Probleme durch Flex, Vibrationen und Substratverschmutzung vermieden. Das CCD-Modul ist unempfindlich gegen Streulicht und Reflexionen und eignet sich für verschiedene Oberflächen – angefangen von reflektierendem Silikon bis hin zu matten Oxidoberflächen. Die automatisierte Steuerung zur Dauer der Laser-Emission verhindert Messfehler durch Farbabweichungen der Oberfläche.
EPP 207
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