Kleben gehört zu den wichtigsten Aufbau- und Verbindungstechniken in der Mikroproduktion und Elektronik. Immer kleiner werdende Bauteile erfordern leitfähige Verbindungen im Bereich weniger Mikrometer. Da die hierfür erforderlichen Bewegungen oft in einem nur wenige Kubikzentimeter bis -dezimeter großen Arbeitsraum mit einer Positioniergenauigkeit #20 µm auszuführen sind, werden an die Positioniersysteme hohe Anforderungen gestellt. Als Lösung bietet IEF Werner die als Ausleger-, Portal- und Vertikalachsen lieferbaren Linearsysteme microLINE. Die Standardausführung arbeitet mit einer Geschwindigkeit bis 2,9 m/s, Beschleunigungswerten bis 60 m/s² und einer Wiederholgenauigkeit von ±0,02 mm. Ausgehend von den Standardeinheiten mit Direktantrieb konnten die für die Mikro-Dosierpumpe easy.dot benötigten Verfahrwerte von X=240 mm, Y=100 mm und Z=80 mm realisiert werden. Mit der von Scherzinger Pump Technology entwickelten Pumpe ist es möglich, kleinste Mengen von Flüssigkeiten zielgenau und mit hoher Reproduzierbarkeit zu dosieren. Bei dem gemeinsamen Projekt wurden die Dots mit einem Durchmesser von 300 µm auf einen Siliziumwafer gesetzt. Die programmierbare Dot-Größe reicht von 80 µm bis zu 1 mm Durchmesser. Die diversen Parameter von der Dot-Größe über ihre Anzahl bis hin zu den unterschiedlichen Steuerprogrammen für den Produktionseinsatz lassen sich über ein mit der IEF-Steuerung PA-Control korrespondierendes Ansteuersystem einstellen. Dadurch kann die Mikro-Dosierpumpe insbesondere für Dosieraufgaben in der Elektronikfertigung, der Labortechnik und der Mikrosystemtechnik einfach integriert, und mit der Lineareinheit kombiniert werden.
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