Luftgelagertes X/Y-Positioniersystem - EPP

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Luftgelagertes X/Y-Positioniersystem

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Der luftgelagerte X/Y-Positioniertisch ABG10000 von Aerotech kombiniert eine H-förmige Rahmenkonstruktion für große Arbeitsbereiche mit Hochleistungslinearmotoren, robusten optischen Encodern und magnetisch vorgespannten Luftlagern, und ermöglicht somit eine Positionierung mit hoher Geschwindigkeit und Genauigkeit und reibungslose Bewegungsabläufe für anspruchsvolle und genaue Fertigungs- und Prüfsysteme. Die Positioniertische, bei denen keine Reibungskräfte auftreten, erfordern einen geringen Wartungsaufwand und bieten eine lange Lebensdauer für den Einsatz in anspruchsvollen Anwendungen wie Pick&Place, automatisierten Montagesystemen und Prüfsystemen für Halbleiter. Für die Tische sind optional z.B. Maschinengestelle aus Granit oder Verbund- stoff, Z- und Rotationsachsen, Vibrationsdämpfungssysteme und Steuergeräte erhältlich. Der Tisch weist Luftlagerkonstruktion auf und verfügt über ein aktives, magnetisches Vorspannsystem auf den horizontalen und vertikalen Flächen. Durch die Vorspannung wird ein dünner Druckfilm und ein stabiler Luftspalt erzielt. Die Kombination aus Vorspannung und großen Luftla- geroberflächen führt zu einer guten Steifigkeit des Tisches und auch Belastbarkeit. Die Luftlagerkonstruktion hat einen ausgleichenden Effekt zur Folge, da der dünne Film kleine Unebenheiten und Unregelmäßigkeiten der Oberfläche ausgleicht, wodurch gute Werte für Neigen, Rollen, Gieren, Geradheit und Ebenheit erzielt wird. Der niedrige Massenschwerpunkt des Tisches ermöglicht optimale Geschwindigkeits- und Beschleunigungswerte für Fertigungs- und Prüfsysteme mit hohem Durchsatz. Es sind die bürsten- und eisenlosen, coggingfreien Linearmotoren der Serie BLM integriert, die für eine spielfreie Positionierung mit Laufruhe und Positionsstabilität sorgen. Die Positioniertische sind mit den vier Standardverfahrwegen 250 x 250 mm, 500 x 500 mm, 750 x 750 mm und 1000 x 1000 mm verfügbar, auf Anfrage werden auch andere Verfahrwege angeboten. Durch die Kombination aus Linearmotor, Encoder und Luftlager wird eine kalibrierte Genauigkeit von ± 2 µm mit bidirektionaler Wiederholbarkeit innerhalb von 0,5 µm und einer maximalen Geschwindigkeit von 1 m/s bei einer Beschleunigung von 4,9 m/s² abhängig von der Systemdatenrate erzielt. Das Kabelmanagementsystem weist ein Design auf, das Zuverlässigkeit und lange Lebensdauer ohne Wartungsaufwand gewährleistet.

EPP 479
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