Mehr sehen, schneller verstehen: Inspektionssysteme für höchsten Durchsatz

In der Halbleiterindustrie muss die Inspektion, Prozesskontrolle und Fehleranalyse von Wafern schnell, sicher und ergonomisch sein. Mit den Inspektionsmikroskopen Leica DM8000 M und Leica DM12000 M bringt Leica Microsystems eine neue Produktlinie auf den Markt, die diese Anforderungen optimal erfüllt. Die neuen Instrumente sind wahlweise für die Inspektion von 8- oder 12-Zoll-Wafern erhältlich.

Mit dem integrierten Makro-Modus bieten die Inspektionsmikroskope einen bis zu vier Mal größeren Überblick über die Probe als herkömmliche Übersichtsobjektive. So kann der gesamte Bereich schnell und sicher auf mögliche Defekte gescannt werden. Die LED-Beleuchtung ist in das Stativ integriert, so wird der Airflow im Reinraum optimal um das Mikroskop geleitet, da Lampenhäuser komplett entfallen. Die modernen Power-LEDs haben außerdem eine lange Lebensdauer bei niedrigem Stromverbrauch. Das spart Kosten und ist umweltfreundlicher. Auch die optional erhältliche i-line UV Beleuchtung basiert auf LED-Technologie. Der neue Oblique UV-Modus kombiniert die schräge Beleuchtung mit i-line UV-Licht. So kann die Probe schnell und einfach von allen Seiten, in 3D und in höchster Auflösung betrachtet werden. Weil Komfort beim Arbeiten eine Voraussetzung für mehr Leistungsfähigkeit und damit bessere Qualität ist, wurden die Funktionselemente nach höchsten ergonomischen Maßstäben gestaltet. Sämtliche Bedienelemente sind in das Stativ integriert und leicht zu erreichen, so dass beim Umschalten Augen und Hände nicht vom Mikroskop genommen werden müssen. Mit individuell einstellbaren Ergotuben und Fokusknöpfen lässt sich das Inspektionssystem an jeden Nutzer anpassen. Focus-Finder, Memory-Funktion und die integrierten Beleuchtungs- und Kontrastmanager erleichtern die Bedienung und helfen Fehler zu vermeiden. Die Mikroskope werden als Komplettsystem angeboten: Mikroskop, Kamera und Software sind perfekt aufeinander abgestimmt. Außerdem kann das System durch spezielle Inspektions- und Reviewsoftware ergänzt werden. Kompatibilität zu Waferloadern verschiedener Hersteller runden das Angebot zum Komplettsystem ab.