Advantest Corporation liefert erste Muster der neuen MEMS-Relais aus, die für den Einsatz in Halbleiter-Testsystemen, schnellen Kommunikationsgeräten, Hochfrequenz-Messtechnik und den darin enthaltenen Komponenten entwickelt wurden. Bislang arbeiten Hochfrequenz-Relais meist mit einer elektromagnetischen oder elektrostatischen Betätigung. Elektromagnetische Relais sind groß und haben einen hohen Stromverbrauch. Elektrostatische Relais werden leicht durch statische Aufladung beeinflusst und benötigen eine hohe Betätigungsspannung. Die MEMS-Relais lösen diese Probleme mit einer piezoelektrischen Betätigung. Mit Hilfe der proprietären Abscheidungstechnologie des Unternehmens hat das Relais eine nur 1 Mikron dicke piezoelektrische Schicht, so dass es mit einer niedrigen Betätigungsspannung arbeitet. Das Relais zeichnet sich durch eine hohe Zuverlässigkeit aus, die mittels der in den Halbleiter-Testsystemen des Unternehmens bewährten Contact-Point Control Technologie erreicht wird. Das Relais ist kleiner und benötigt weniger elektrische Leistung als elektromagnetische Relais und ist aufgrund der geringeren Störempfindlichkeit sowie der niedrigeren Betätigungsspannung ebenso elektrostatischen Relais überlegen. Es eignet sich für eine Hochfrequenzübertragung bis 20 GHz und wird auch in der Hochfrequenz-Messtechnik des Unternehmens eingesetzt. Die Serienproduktion soll im Januar 2013 beginnen. Neben dem Bereich Halbleitertest wird es künftig weiterhin bahnbrechende Lösungen für andere Anwendungsbereiche, wie Automotive und Medizintechnik, vom Unternehmen geben.
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