MEMS-Spiegel für viele Anwendungsfälle

Mirrorcle Technologies, Hersteller patentierter, rahmenloser MEMS-Spiegel meldet die Verfügbarkeit einer größeren Spiegelkategorie. Bis dato gab es integrierte MEMS Spiegel von 0,8mm bis 1,7mm sowie gebondete von 0,8mm bis 3,6mm. Die gebondeten elektro-optischen Bauteile sind modular im Design, bestehend aus einem Halbleiterantrieb und einem Spiegel, der in verschiedenen Varianten und Größen je nach Kundenwunsch mit dem Antrieb verbunden wird. Mit der Verfügbarkeit verschiedener MEMS-Antriebe, Gold oder Aluminium-Beschichtungen und verschiedener Spiegelgrößen besteht nun eine große Auswahl an möglichen Produkten, die individuell auf die jeweiligen Anwendungsanforderungen abgestimmt werden können.

Größere MEMS Spiegel erzielen geringere Geschwindigkeiten als kleinere. Neben langsameren Punkt-zu-Punkt Verfahrzeiten sind sie auch anfälliger in Bezug auf Erschütterungen und mechanische Schwingungen. Um Produkte mit hoher Funktionssicherheit und angemessenen Geschwindigkeiten anzubieten, hat das Unternehmen Spiegel mit bis zu 3,6mm Durchmesser mit der dringenden Empfehlung angeboten, diese in Kundenanwendungen nach Möglichkeit mit den größten Halbleiterantrieben zu kombinieren. Für Anwendungen, in denen keine großen Scanwinkel erforderlich sind, bietet man steifere Antriebe mit verschiedenen Chipgrößen an, die höhere Geschwindigkeiten erlauben als solche, die auf maximal erreichbare Winkel ausgelegt sind. Insofern können bei geeigneter Auswahl der Bauteilkomponenten sowohl hohe Geschwindigkeiten, als auch eine gewisse Immunität gegenüber Erschütterungen und mechanischen Schwingungen für alle Spiegel- und Antriebsgrößen angeboten werden. Nun sind auch MEMS-Spiegel mit 4,2mm Durchmesser als Standardprodukt erhältlich. Sämtliche gebondeten Spiegel von 1,6mm bis 4,2mm sind in jeder Stückzahl erhältlich, sowohl mit Au- als auch mit Al-Beschichtung. Die neue Größe kann ebenfalls mit einer Vielzahl verschiedener MTI-Antriebe verbunden werden, und ist in verschiedenen Bauteil-Packages von größeren 24-Pin Dual-in-Line (DIP24) bis zu verschiedenen LCC Größen erhältlich.

„Wir sind froh darüber, unseren Kunden die neue Verfügbarkeit von 4,2mm Spiegeln ankündigen zu können,“ so der Geschäftsführer und Gründer des Unternehmens, Dr. Milanovic. „Viele Anwendungen erfordern relativ große Spiegelaperturen. Wir bekommen häufig spezifische Anfragen bezüglich größerer Standardspiegel und freuen uns, nun diesen Bedarf besser decken zu können. Wir erweitern unser Produktspektrum nur, wenn wir sicher sein können, höchste Qualität und Wiederholgenauigkeit zu attraktiven Preisen und mit kurzen Lieferzeiten bieten zu können. Gleichzeitig wissen wir, dass viele Kunden unsere Veröffentlichungen über noch größere Spiegel (bis zu 9mm) verfolgen, die wir in verschiedenen Entwicklungsprojekten realisiert haben.“