Ein von FRT entwickeltes Multi-Sensor-Oberflächenmessgerät für die Mikroelektronik hat verschiedene optische Sensoren für die Messung von Topografie, Profilen, Rauheit oder Schichtdicke, die miteinander kombiniert werden können. Zusätzlich kann das System mit Rasterkraftmikroskopie (AFM) ausgestattet werden. Alle Messaufgaben sind voll automatisierbar. Das Gerät der Serie MicroProf hat einen Messbereich von 200 mm x 200 mm und kann bei Bedarf auch für größere Messbereiche ausgelegt werden. Das System ist komplett gehäust und lässt sich problemlos in der Produktionsumgebung einsetzen. Ein staubfreier Einsatz ist garantiert, die Probe wird von den Umgebungsbedingungen nicht beeinflusst. Konzipiert ist das Gerät für die Bereiche Mikroelektronik, Elektronik und Leiterplattentechnik.
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