Metrologie-System

Olympus präsentierte das konfokale Laser Scanning Mikroskop LEXT, das 3-dimensionale, präzise Messungen und hoch aufgelöste Oberflächendarstellungen in Echtzeit ermöglicht. Es verwendet eine Wellenlänge von 408 nm in Kombination mit konfokalem Scanning, wo die Probe Punkt für Punkt mit einem Laserstrahl abgetastet wird. Auf der Detektionsseite sorgt eine spezielle Lochblende dafür, dass von der Probe zurückreflektierte Strahlen, die nicht im Fokus des Objektivs sind, vor dem Detektor abgeblockt werden. Dadurch nimmt der Photomultiplier nur Intensitäten von Signalen aus der Fokusebene auf. Durch Bewegung des Objektivs in Z-Richtung erhält der Anwender 3-dimensionale Informationen. Durch Verwendung des XY-Scanners kann der Scannprozess schneller erfolgen und liefert reproduzierbare Messergebnisse. Die Steuerung der Z-Achse ist durch den Linearmaßstab mit einer Auflösung von 5 nm extrem genau. Das Mikroskop überzeugt mit Bedienerfreundlichkeit und Messgeschwindigkeit durch das Bedien- und Anzeigekonzept. Eine 2-Kanal-Live-Bild-Anzeige kann sowohl ein konventionelles farbiges Mikroskopbild als auch ein Konfokalbild gleichzeitig auf dem Monitor anzeigen. Dadurch wird die Fokussierung auf die Probe und das Auffinden der gewünschten Stelle auf der Probe leicht und schnell. Der Scanprozess läuft automatisch ab, nachdem der Scanbereich festgelegt ist. Der Enhanced Modus nimmt Proben mit stark unterschiedlichen Reflexionscharakteristiken innerhalb des zu untersuchenden Bereichs und geneigte Flächen problemlos auf. Sind die 3-dimensionalen Messdaten aufgenommen, stehen eine Vielzahl von Messfunktionen zur Verfügung, um die Form und Feinstruktur der Oberfläche zu analysieren. Des Weiteren erlaubt das Mikroskop die berührungslose Bestimmung von Rauheitswerten auf einer frei wählbaren Fläche.

EPP 431