Der MSA-400 Micro System Analyzer von Polytec ermöglicht genaues Messen, schnelles Analysieren und einfaches Charakterisieren der Dynamik von MEMS und MOEMS Bausteinen in 3 Dimensionen. Der Messkopf enthält eine speziell abgestimmte konfokale Mikroskopoptik, und integriert die Verfahren der scannenden Laser-Doppler-Vibrometrie zur Messung von Out-of-Plane-Schwingungen, sowie der stroboskopischen Video-Mikroskopie zur Erfassung der In-Plane-Dynamik des Messobjektes. Die kompakte Bauweise macht die Adaption an gängige MEMS-Probestations möglich. Der Analyzer zeichnet sich durch kurze Messzeiten, Picometer-Wegauflösung für Out-of-Plane-Messungen, einen kleinen beugungsbegrenzten Laserspot, reflektionsfreie Mikroskopoptik und durch ein Live-Video-Monitoring des Messprozesses aus. Das kombinierte Messverfahren verkürzt Auffinden und Charakterisierung von Resonanzstellen erheblich. Durch In-Plane-Bewegungen hervorgerufene Out-of-Plane-Schwingungen werden durch die Laser-Doppler-Technik in Millisekunden erkannt. In den so ermittelten Resonanzbereichen wird dann die In-Plane-Bewegung mittels Videostroboskopie gezielt charakterisiert. Die gewonnenen Daten sind wichtig für den Abgleich von Simulationsmodellen zur Modalanalyse von Mikrosystemen.
SMT, Stand 9-623
EPP 461
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