Die Systeme mit Laserscan- und Emissions-Mikroskoptechnologie von Checkpoint Technologies ergänzen Synatrons Produktpalette an Fehleranalyse-, Qualitätssicherungs- und Instrumentierungs-Systemen für die Halbleiterindustrie. Das InfraScan 300 TDE (im Bild) ist ein Laserscanner für die Fehlerlokalisierung in IC-Bausteinen. Die Standard-Konfiguration testet die Bausteine mit Doppel-Lasern (1340 nm und 1064 nm). Der 1340-nm-Laser wurde integriert, um eine punktgenaue Erwärmung zu erzeugen und verursacht keine photo-generierten Ladungsträger. Der 1064-nm-Ladungsträger eignet sich für Anwendungen, bei denen photo-generierte Ladungsträger den gewünschten Effekt hervorbringen. Das System ASP-1000 ist ein hochempfindlicher Source/Amplifier zur Laser-basierenden Defekt-Lokalisierung und wird über eine Standar-RS-232-Schnittstelle gesteuert. Der Computer kontrolliert die Modi für konstanten Strom und Spannung sowie die Bandbreiten-Filter zur Optimierung der Detektions-Parameter. Die gleichzeitige Anwendung mehrerer ASP-1000 ermöglicht eine größere Flexibilität für einen Laser-basierenden Aufbau. Auch stehen Multiple-Single- und Dual-Laser-Module zur Verfügung.
EPP 476
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