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Präzisionsmesssystem für die Microsystemtechnik

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Präzisionsmesssystem für die Microsystemtechnik

Das Cyberscan Vantage ist ein berührungsloses 3D-Lasermessgerät von Cyber Technologies. Die Hauptkomponenten des Systems sind ein hochauflösender Lasersensor, ein X/Y-Verfahrtisch sowie eine Software zur Datenanalyse. Die Verfahreinheit verwendet moderne Piezoantriebe und bewegt das Messobjekt unter dem Sensor, wodurch es gescannt und ein 2D-Profil oder ein 3D-Raster erzeugt wird. Alle elektronischen Komponenten sind in einem stabilen Gussgehäuse integriert. Die Sensoren sind je nach Anwendung mit unterschiedlichen Auflösungen und Messbereichen erhältlich. Durch die digitale Technik passt sich der Sensor automatisch an unterschiedliche Oberflächenreflexionen des Messobjektes an. Transparente Schichten können ebenso wie stark reflektierende Oberflächen vermessen werden. Die Software beinhaltet alle 2D- und 3D-Analysefunktionen und erstellt automatische Messabläufe. Anwendungsspezifische Messprogramme verwenden automatische Auswertealgorithmen und liefern genaue und wiederholbare Ergebnisse.

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