Keithley Instruments hat FormFactor in die Liste der qualifizierten Probe-Card-Anbieter aufgenommen. Die Probe Cards werden für die Parametertester der Serie S600 des Unternehmens verwendet, um sehr kleine DC-Ströme zu messen und zur Durchführung von DC-Parametertests an Pins direkt auf dem Wafer. Die Tester werden zur Qualifizierung von Wafern für die Montage und das Packaging sowie zur Prozessüberwachung genutzt. Modell S680 wurde speziell für den parametrischen Test von Logik-, Speicher- und Analog-ICs auf Wafer-Ebene entwickelt. Das System kombiniert hohe DC-Empfindlichkeit, eine Auflösung im Femtoampere-Bereich und die Messung von HF-S-Parameter bis 40 GHz mit parallelen Messmöglichkeiten. Das Modell ist ideal für einen Test mit hoher Empfindlichkeit und Geschwindigkeit. Mittels Signalvorverstärker im Testkopf werden kleine Signale nur wenige Zentimeter nach der Messspitze verstärkt, und erst dann über Kabel zu den Messinstrumenten im Systemschrank übertragen. Durch diesen Ansatz lassen sich durch Kabel und die Schaltmatrix verursachte Geschwindigkeits- und Empfindlichkeitsverluste vermeiden. Externe Instrumente können über acht universelle Kanäle direkt mit den Messspitzen verbunden werden. „Die Qualifikation von FormFactor verdeutlicht das kontinuierliche Engagement des Unternehmens, ihren Kunden immer die neueste Technologie für Probe Cards stetig zu erweitern“, sagt Mark Hoersten, Vice President Business Management des Unternehmens. „Diese Probe Cards gehören zu den entscheidenden Hochleistungstechnologien, die für Präzisionsmessungen bei den immer kleineren Bauteilen in modernen Elektronikgeräten unverzichtbar sind.“ Auch Benjamin N. Eldridge, Senior Vice President, Research & Development und Chief Technology Officer von FormFactor hat einen Kommentar dazu: „Die Erweiterung unserer Parameterplattform Takumi für die Tester von Keithley ist für die Kunden unserer beiden Unternehmen wichtig. Die Halbleiterhersteller benötigen beim Umstieg auf Technologien mit 65 nm und darunter zuverlässige Testunternehmen, die ihnen neueste Messtechnik in Form von voll integrierten Lösungen zur Verfügung stellen.“
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