Zyron 8020 von Dupont Fluoroproducts ist ein Reinigungsgas für CVD-Kammern (Chemical-Vapour-Deposition). Nach Herstellerangaben nimmt mit diesem wirtschaftlichen und umweltverträglichen Gas das Reinigen der Kammern weniger Zeit in Anspruch als mit anderen gebräuchlichen PFC-Reinigungsgasen. Das Gas ist in verschiedenen Behältern erhältlich. Laut Tim Horsten, verantwortlich für die Vermarktung in Europa, ist es speziell bei Versorgungsengpässen eine gute Alternative zu NF3.
EPP 192
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