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Reinstwasser für Mikroelektronik

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Reinstwasser für Mikroelektronik

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In der Mikroelektronik werden an die Reinheit des Wassers besondere Anforderungen gestellt. Die Septron-Line von Christ vereint sechs Schritte der Reinwassererzeugung. Sie kombiniert Filtration, Enthärtung und die mehrstufige Entsalzung. So entfallen die Planung, Abstimmung und Installation einzelner Geräte sowie deren aufwendige Verrohrung. Die Septron-Line bietet Durchflußmengen von 90, 140 und 370 I/h. Das zugeführte Trinkwasser wird dabei in Reinwasser umgewandelt. Garantiert wird dabei eine maximale Leitfähigkeit von 1,3 µS/cm, sie kann jedoch auch Werte bis zu 0,2 µS/cm erreichen. In einem ersten Schritt wird das Rohwasser filtriert. Dann erfolgen eine Härtestabilisierung durch Antiscalants sowie eine erste Entsalzung. Im nächsten Schritt entfernt ein Polisher die verbliebenen Härtebildner mittels lonenaustausch und ein Filter letzte Verunreinigungen. Im Hauptmodul findet eine Restentsalzung und Entfernung von CO2, SiO2 sowie TOC durch Elektrodeionisation statt. Dabei werden eine TOC-Konzentration von weniger als 50 ppb und eine SiO2-Konzentra-tion unter 5 ppb erreicht. Das Elektrodeionisationsmodul arbeitet ohne interne Dichtungen und mit niedrigem Energieverbrauch. Die spiralförmige Wickelung der Membranen um eine zentrale Elektrode sorgt für einen hohen pH-Gradienten. Mit den Systemen ermöglicht der Hersteller die Erfüllung internationaler Normen.

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