Single-Wafer-Stocker in modularer Bauweise

Der von Schiller vorgestellte Singel-Wafer-Stocker SWS300 ermöglicht die Zwischenlagerung einzelner Wafer oder kompletter Horden sowie ein Sortieren der eingelagerten Wafer nach vorbestimmten Attributen bei minimalstem Footprint der Anlage. Die modulare Bauweise gewährleistet eine flexible Anpassung an die unterschiedlichen Kunden- und Prozessanforderungen. An das zentrale Clusterhandling können für verschiedene Konfigurationen bis zu fünf Module angebaut werden. Ein integrierter Waferhandler übernimmt das Handling der einzelnen Wafer von Modul zu Modul. Eine zusätzliche Z-Achse ermöglicht eine optimale Ausnutzung der Reinraumhöhe und Zugriff auf den gesamten Stockerbereich. Über einen im Clusterhandling integrierten Prealigner mit Wafer-ID-Reader wird die Kennung der Wafer ausgelesen, über vorgegebene Attribute die Wafer beim Auslagern entsprechend sortiert. Integrierte Filtereinheiten erzeugen ein Minienvironment der Reinraumklasse 1 und garantieren in Verbindung mit entsprechenden Ionisationssystemen ein kontaminationsfreies Handling der Wafer. In einem Stockermodul können bis zu 1368 Wafer in einzelne Wafermagazine eingelagert werden, die Magazine werden zu Reinigungs- oder Servicezwecke einfach ausgebaut. Die Filtereinheit sitzt in unmittelbarer Nähe der Wafer im Innenbereich des Rondells, was eine höchste Reinraumklasse bei einer über die gesamte Stockerhöhe homogenen Strömungsverteilung bewirkt. Auch hier wird Reinraumklasse 1 garantiert. Ein Servicezugriff auf einen Bereich des Rondells hat nur sehr geringen Einfluss auf die Durchströmung der Wafer, bedingt durch die gewählte Anordnung der Durchströmung der Wafer innerhalb dieses Stockersegments. Die Durchströmung der übrigen Stockersegmente wird durch ein Öffnen der Servicetür nicht, bzw. minimal beeinträchtigt. Als Ein-/Ausgabeports wurden Standard-FOUP-Loadports integriert. Je nach Anwendungsfall sind auch andere Möglichkeiten durch die modulare Bauweise denkbar.

EPP 468