Der Trocknungsprozess der Solartrockner RDS 2100 und RDS 3000 von Rehm Thermal Systems besteht aus einer Kombination von fünf bzw. sieben IR-Zonen und einer zentralen Konvektions-Zone was eine sowohl präzise als auch flexible Temperaturprofilierung ermöglicht. Diese Systeme mit horizontaler Durchlaufrichtung garantieren einen sicheren Transport durch den Ofen, entweder mit einem Geflechtsband oder einem Stiftkettentransport mit bis zu drei Spuren. Beim Geflechtsband kann der Transport der Heizzone von dem der Kühlzone getrennt werden. Dadurch wird keine latente Wärme in die Kühlzone gebracht, wodurch der Kühlgradient erhöht und der Ofen entsprechend verkürzt werden kann. Bei einer Transportgeschwindigkeit von 6 m/Minute liefert die RDS-Serie einen Durchsatz von bis zu 5700 Wafern/Std.
Die neuen Systeme sind auch mit dem Rehm Residue Management System erhältlich, einem Prozess (thermische Oxidation), der die Ablagerung von unerwünschten Pastenrückständen und Residues in der Prozesskammer vermeidet, und dadurch die Wartungsintervalle verlängert. Die gesamte Prozesskammer des RDS-Trocknungssystems ist so konzipiert, dass alle wartungsrelevanten Teile einfach zu erreichen sind. Der Ofen wird an der Frontseite geöffnet und enthält herausnehmbare Bleche, die zu Wartungszwecken einfach entnommen werden können, was den Prozess erheblich minimiert.
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