Der bedienerfreundliche spektroskopische Tisch-Ellipsometer für die Dünnfilm-Messung von Mikropack, das SpecEL-2000-VIS, eignet sich für halbtransparente flache Proben wie Wafer oder Glasplatten und misst Schichtdicke, Brechungsindex, Absorption und Komponentenverhältnis schnell und genau auf Knopfdruck. Das All-in-one-System ist 52 x 33 x 24 cm groß und hat eine breitbandige Lichtquelle, einen Spektrometer und zwei drehende Polarisatoren. Zum Lieferumfang gehört noch ein 32-Bit-Windows-PC mit benutzerfreundlicher Software. Das System misst polarisiertes Licht, das von der Oberfläche des Substrats reflektiert wird, um so die Schichtdicke und den Brechungsindex des Materials als Funktion der Wellenlänge zu bestimmen. Je nach Schicht und Substratmaterial kann das Gerät Schichtdicken zwischen 1 Nanometer und 5 Mikrometern und Brechungsindizes über das komplette Spektrum erkennen. Mit der Software lassen sich Experimentiermethoden konfigurieren und für eine Ein-Schritt-Analyse speichern. Die Ellipsometrie misst die relativen Änderungen in der Phase und Amplitude des Lichts, ist daher unabhängig von Referenzmessungen und kann mehrere Parameter gleichzeitig bestimmen.
EPP 519
Unsere Webinar-Empfehlung
.png)
Die 3D-Messung und Inspektion des Lotpastendrucks ist ein wichtiges Qualitätswerkzeug. Dieses funktioniert nur mit den richtigen Toleranzen und Eingriffsgrenzen.
Teilen:
