Mit dem LKx5 bietet der Geschäftsbereich Electronics-Assembly-Systems von Siemens Dematic das nach eigenen Angaben kleinste auf dem Markt erhältliche Stand-alone-Wafer-ID-System für die Halbleiter-industrie. Mit ihm können OCR- (Optical-Character-Recognition), Bar- oder 2D-Dotmatrix-Codes, die auf der Vorder- oder Rückseite des Wafers aufgebracht sind, identifiziert werden. Aufgrund der kleinen Abmessungen von 37 x 70 x 110 mm³ lässt sich das System in jeden Prozessschritt der Halbleiter-Produktion integrieren. Der Identifikationscode auf Wafer-Oberflächen ist selbst für geübtes Fertigungspersonal in der Regel schwer zu erkennen. Das liegt an Abnutzungen, die während der Herstellung auftreten. Deshalb wird in dem System eine neuartige, patentierte Beleuchtung eingesetzt, die eine hohe Zuverlässigkeit bei der Bilderkennung gewährleistet. Durch die laufende Optimierung der Beleuchtung, abhängig vonden unterschiedlichen optischen Eigenschaften der Wa-fer-Oberfläche, wird das nach Herstellerangaben jeweils bes-te Leseergebnis erzielt. Das LKx5 passt sich zudem automatisch an die verschiedenen Markierungstypen an.
EPP 189
Unsere Webinar-Empfehlung
Was ist im Jahr 2022 Stand der Technik in der automatischen Röntgeninspektion? Wie aufwändig ist die Prüfprogrammerstellung? Welche Taktzeiten werden erreicht?
Teilen:
