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Upgrade für analytische Waferprober

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Upgrade für analytische Waferprober

Upgrade für  analytische  Waferprober
Mit der Summit B-Serie stellt Cascade Microtech, Vertrieb Synatron, ein Upgrade der analytischen Proberstationen der Reihen Summit 11000 und 12000 vor. Die semiautomatischen und manuellen Proberstationen der Serie B verfügen über eine erweiterte Nachrüstbarkeit, neuen Probing-Fähigkeiten und eine verbesserte Benutzerfreundlichkeit. Diese Stationen wurden speziell für eine problemlose Aufrüstbarkeit entwickelt. Anwender haben nun die Möglichkeit, zunächst ein Basismodell zu erwerben, und später, wenn es ihre Mess-Anforderungen verlangen, auf ein erweitertes System aufzurüsten. Die B-Serie ist standardmäßig für High-Force-Probing ausgelegt und unterstützt Probecard-Lasten von bis zu 20 kg. Darüber hinaus sind frostfreie Thermalschläuche integriert, die die Entstehung von äußerem Frost an -65 bis +200°C Chiller Systemen verhindern. Ein neues Platen-Lift-System verhilft zu einer verbesserten Systemrobustheit und einfacheren Anpassung durch den Anwender (Ausgleich von variierenden Positioner und Testkopf-Gewichten) sowie zu einem besseren Fluid Feel, wenn ein Präzisionsprobe einen Testwafer kontaktiert. Alle mit der patentierten MicroChamber Technologie ausgestatteten Systeme verfügen über eine größere und leichter zu bedienenden Zugangstür für das Waferbeladen. Systeme ohne diese Technologie beinhalten ein neues Sicherheitsgehäuse mit einfachem Zugang zum Wafer. Die Summit B-Stationen sind mit den dem Industriestandard entsprechenden HF/DC/CV-Messgeräten von Cascade Microtech inklusive MicroChamber, AttoGuard und der FemtoGuard Technologie erhältlich.

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