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Vakuumpumpe für Halbleiter-Anwendungen

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Vakuumpumpe für Halbleiter-Anwendungen

Vakuumpumpe für Halbleiter-Anwendungen
Leybold Semiconductor Vacuum Solutions (LSVS) hat mit der Gerätefa-milie Dura-Dry eine Reihe tro-cken laufender Vakuumpumpen vorgestellt. Die nach dem Schraubenprinzip arbeitenden Pumpen zeichnen sich durch die Split-Flow-Konstruktion des Gaswegs aus, bei der das Prozessgas in der Mitte des Rotors ein- und an den beiden Enden ausgepumpt wird. Die mit einem Temperatur-Kontrollsystem ausgestattete Pum-pe ist unter anderem für Applikationen von Schleusenkammern und für Beschichtungsprozesse geeignet. Über eine programmierbare Schnittstel-le kann die Dura-Dry mit 300-mm-OEM-Tools kommunizieren. Die einfache Pumpenkonstruktion, die kontaktlosen Dichtungen und der kurze Gasweg machen die Dura-Dry nach Herstellerangaben zu einer kostengünstigen Vakuumpumpe für viele Halbleiter-Anwendungen.

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