Für den Einsatz in Reinräumen hat Hirata Robotics eine Ro-boterserie entwickelt, die auch in einer Ausführung mit zwei Armen erhältlich ist. Das Mo-dell AR-W200CL wurde speziell für das Be- und Entladen von Bearbeitungsmaschinen für 6 bis 12 Zoll große Wafer entwickelt, deren Rückseiten durch entsprechende Vorrichtungen auch bearbeitet werden können. Nach Herstellerangaben behindern die für die Reinraum-klasse 1 geeigneten Geräte durch ihre kleine Standfläche die notwendigen Luftströmungen nicht. Bei einem Arbeits-bereich von 600 mm und ei-nem Gesamtgewicht von 43 kg kann jeder Arm mit500 g beaufschlagt werden. Auf Wunsch können die Roboter auch komplett mit einer entsprechenden Positionier-, Ablauf- oder Zellensteuerung ausgerüstet werden. Für das komplette Handling vor der Bearbeitungsmaschine bietet der Hersteller weiteres Zubehör wie SMIF-Pods-Opener zum Transport der Waferscheiben zwischen den einzel-nen Bearbeitungsstationen. Integrierte Sensoren stellen dabei das korrekte Beladen und Schließen des Behälterssicher.
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