Der Hersteller von Elektrochemikalien, Electrolube, hat die Reinigungslösung Safewash Super (SWAS) für Silikon-Wafer-Hersteller entwickelt. Das Produkt ist das Ergebnis der engen Zusammenarbeit mit mehreren Herstellern, verbessert die Reinigungskapazitäten deutlich, beschleunigt den Durchsatz, senkt Kosten und reduziert den Umwelteinfluss.
Während sich die Reinigungsprozesse von Anlage zu Anlage unterscheiden, Silikon-Wafer-Hersteller häufig mit denselben Problemen zu kämpfen. Dazu gehörten Produktionsengpässe aufgrund eines langsamen Reinigungsprozesses, die Verwendung eines Reinigungsprodukts auf Lösungsmittelbasis mit nicht optimalen Reinigungsergebnissen, vermehrten Ausschussteilen verbunden mit Nachbearbeitung sowie Umweltbedenken im Hinblick auf Lagerung, Transport, Entsorgung und die Mitarbeitersicherheit. Hinzu kam die relativ geringe „Belastbarkeit“ durch Verunreinigungen bestehender Produkte auf Lösungsmittelbasis, wodurch die Produkte häufiger erneuert werden müssen.
Bei einer kürzlich durchgeführten Fallstudie, an der ein wichtiger internationaler Wafer-Hersteller beteiligt war, bewies die Reinigungslösung SWAS, wie der Austausch eines Produkts zu einer völlig neuen Reinigungserfahrung führen kann. Der Kunde verwendete ein in den USA hergestelltes Reinigungsmittel auf Lösungsmittelbasis in einer Mehrkammer-Anlage bestehend aus fünf Reinigungstanks und einer Lade- und Entladestation. Nach Verwendung von SWAS im Prozess konnte der Kunde seine bestehende Konfiguration aus fünf Tanks auf eine Konfiguration aus drei Tanks reduzieren (sauber/QDR & QDR entionisiert). Durch die Reinigungslösung blieben keine Rückstände auf dem Wafer zurück und der Durchsatz konnte um bis zu 50 % gesteigert werden. Die Steigerung wurde durch die kürzere Zeit im Reinigungstank und die reduzierte Tankkonfiguration erreicht.
Die Reinigungslösung kann bis zu 5 %-15 % seines Gewichts in Flussmittelrückständen aufnehmen (RA, RMA, No-clean und wasserlöslich) und eine Reinigungsleistung erbringen, die hohen Militärstandards entspricht. Da das Produkt große Partikelmengen verunreinigender Substanzen aufnehmen kann, konnte der Kunde die Anzahl der Reinigungsmittelwechsel pro Woche wirksam reduzieren. Das Reinigungsmittel ist darauf ausgelegt, die Reinheitsnormen des Militärs – ANSI-J-001B/IPC TM-650 – zu erfüllen. Das Produkt ist nicht brennbar, 100 % ozonfreundlich und biologisch abbaubar. Es ist geruchsarm, die Verwendung für Mitarbeiter deutlich sicherer und es lässt sich gefahrlos lagern.
Das Reinigungsmittel ist ein kostengünstiges und technisch fähiges Produkt für diese Anwendung bzw. für die Mehrheit der Wafer-Hersteller sowie für Reinigungsanwendungen von Leiterplatten/Produktionsausrüstungen. Es eignet sich ideal für die schnelle und effiziente Entfernung aller Arten von Flussmittelrückständen mit minimaler Umweltbelastung zu geringen Kosten, besonders zur Entfernung sehr hartnäckiger Flussmittelrückstände und No-clean Flussmittel. Es wird zurzeit von wichtigen Herstellern für eine große Vielfalt an Reinigungssystemen verwendet.