Advantest Corporation, Anbieter von Halbleitertestsystemen, kündigte die branchenweit erste ACS Adaptive Probe Cleaning (APC) Lösung an und optimiert damit den Reinigungszyklus von Probe Cards. Als Teil des offenen ACS Lösungsökosystems des Unternehmens hat sich APC bereits bei Kunden in Asien und Europa bewährt. STMicroelectronics hat die Lösung an zwei seiner Produktionsstandorte installiert. Dadurch konnten die Reinigungszyklen erheblich verkürzt, und somit die Ausbeute beachtlich verbessert, die Lebensdauer der Probe Card verlängert sowie die verfügbare Systemzeit für Tests erhöht werden.
Während es viele Methoden gibt, um die Testzeit und -kosten zu reduzieren, stellen die Kosten für Probe Cards eine neue Herausforderung dar. Die steigende Anzahl der Probenadeln und die zunehmende funktionale Komplexität führt zu einer Erhöhung der Hardwarekosten in Bezug auf Wartung und Lebenszyklusmanagement. In der Regel wenden Chiphersteller eine Online Reinigungsmethode mit festen Zyklen an. Die Festlegung der Zyklen erfolgt mit Hilfe einer Lernkurve, die das ideale Verhältnis von Reinigungsintervall und Ausbeute ermittelt. Beim Ramp-up von neuen ICs dauert dies verhältnismäßig lang und erzeugt unnötige Verluste.
Advantest führt den innovativen, adaptiven Intervall-Ansatz zur Reinigung von Prüfspitzen ein. Das Tool nutzt KI-Algorithmen, um den Verschmutzungsgrad der Nadeln zu ermitteln und sie nur dann zu reinigen, wenn die Ausbeute beeinträchtigt ist. Damit wird die Reinigungshäufigkeit drastisch reduziert. Das maschinelle Lernmodell verwendet die Testergebnisse des ersten Wafers mit einem vordefinierten Reinigungszyklus, um das Fehlerbild zu erlernen und geht dann zur entsprechend angepassten Reinigung für die restlichen Wafer desselben Loses über. Die Bewertung nimmt pro Wafer nur wenig Zeit in Anspruch, ohne den Testdurchsatz zu beeinträchtigen.
Jean-Luc Mariani, EWS Europe Operations & Technology Director, und Chris Portelli-Hale, Test Technology R&D Director, beide von ST Microelectronics, bestätigten, dass sie mehrere APC Einheiten installiert haben, um eine Vielzahl komplexer ICs zu testen und berichten von beeindruckenden Ergebnissen. Die signifikante Verkürzung der Reinigungszyklen führte zu einer Halbierung der Wartungskosten für die Probe Cards. Zudem wurde ein effizienteres Probe Card Ersatzteil- und Lebenszyklusmanagement ermöglicht.
“Unsere neue APC Lösung unterstreicht Advantests Grand Design Strategie und bietet für unsere Kunden einen beachtlichen Mehrwert in der sich stetig wandelnden Wertschöpfungskette im Halbleiterbereich“, sagt Titan Chang, Executive Officer, Field Service Group, bei Advantest. „Kunden, die Wafer-Sort-Tests durchführen, werden von den Vorteilen unserer adaptiven Intervalltechnologie erheblich profitieren. Sie werden ihre Ausbeute deutlich stabilisieren und die Probe Card Reinigung und Wartung optimieren. Das führt zu einer Steigerung der Produktivität und verringert die Testkosten.“
Die neue Adaptive Probe Cleaning Lösung von Advantest Cloud Solutions (ACS) arbeitet mit allen bestehenden ATE-Plattformen und Wafer Probern. Sie erfordert weder Programmänderungen noch die Verwendung spezifischer parametrischer Daten. Es wurde bewiesen, dass die Lösung reibungslos in Kombination mit dualen Probe Card Reinigungssystemen bei unterschiedlichen Reinigungsintervallen funktioniert.
