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Effektive Laserfertigung bei Multispot-Anwendungen

Stabile Laser-Fertigungsprozesse mit feinjustierten Optiken
Effektive Laserfertigung bei Multispot-Anwendungen

Effektive Laserfertigung bei Multispot-Anwendungen
Visuell verbessertes Lasertool. Foto: Jenoptik

Als Kernelemente jeder Laserfertigungsanlage formen Optiken und Mikrooptiken Laserlicht in Wellenlängen von UV bis IR. Jenoptik bietet Maschinenintegratoren bereits vorjustierte Optiken, wie F-Theta-Objektive und darauf abgestimmte diffraktive Mikrooptiken, mit denen diese schneller auf ihre Kundenanforderungen reagieren und gleichzeitig die Effizienz ihrer Anlagen erhöhen können. Beispielsweise für Anwendungen mit Multi-Spots können so gleiche Laserspots mit homogenem Energieeintrag und gleichbleibender Qualität auf das Werkstück ausgerichtet werden. Die Vorteile von aufeinander abgestimmten Optiken liegen in der nahezu verlustfreien Strahlverarbeitung, der besseren Performance der Laserfertigungsanlage und präzisen Fertigungsergebnissen.

Als OEM-Anbieter mit Erfahrung aus einer Vielzahl von Projekten in der industriellen Laserfertigung und der Halbleiterausrüstungsindustrie ist das Unternehmen in der Lage, optische Subsysteme und Komponenten nach Kundenanforderung applikationsspezifisch anzubieten, so beispielsweise für Anwendungen wie Fine-Metal-Masking, Solar-Panel-Strukturierung, LED-Schneiden, beim Bohren und Schneiden von Leiterplatten, in der Display-Herstellung und zur Lasermaterialbearbeitung von Kunststoffen, Metallen und Glas. So divers wie die Anwendungen sind auch die Möglichkeiten, optische Komponenten zu kombinieren und an Kundenbedürfnisse auszurichten.

Kundenspezifische diffraktive optische Elemente

Bei Anwendungen in der Lasermaterialbearbeitung kommen diffraktive mikrooptische Komponenten, die Laserlicht formen und teilen, zum Einsatz. Je nach Applikation und Anforderung können Beamshaper und Beamsplitter unterschiedliche Spot-Geometrien erzeugen und miteinander kombiniert werden. In der Industrie üblich sind Beamsplitter, die zur Parallelisierung von Laserstrahlung in lateraler Anordnung eingesetzt werden, um Multi-Spot-Anwendungen für die gleichzeitige Bearbeitung mehrerer Werkstücke zu ermöglichen. Andere Anwendungen erfordern die Ausrichtung der Spots in axialer Richtung, um die Bearbeitung im Vergleich zu Anwendungen mit einem Spot zu intensivieren und beispielsweise die Schneidgeschwindigkeit zu erhöhen. Das Unternehmen bietet seinen Kunden applikationsspezifische diffraktive optische Elemente, wie beispielsweise Focus-Shaper. Diese ermöglichen schnelles und effizientes Laserschneiden gleichzeitig in unterschiedlichen Schichten des Substrates bei gleichbleibend homogenem und präzisem Laserspot. Das optische Design der Focus-Shaper macht vielseitige Anwendungen bis hin zu 3D-Materialbearbeitung möglich. Zusätzlich bietet das Unternehmen auch sogenannte „efficiency-enhanced“ e²-Transmissionsgitter, die sowohl in der Laserstrahlquelle zur Pulskompression und damit zur Effizienzerhöhung des Lasers also auch als Beam-Combiner für Laserdioden von UV bis IR eingesetzt werden. Durch Highend-Fertigungstechnologien entspricht das Unternehmen den hohen Anforderungen an Genauigkeiten und Langlebigkeit – auch für High-Power-Anwendungen.

Theta-Objektiv für UV-Mikromaterialbearbeitung

Die F-Theta-Objektivreihe JENarTM für die Lasermaterialbearbeitung wurde um ein weiteres Objektiv für den UV-Bereich erweitert: das neue F-Theta-Vollquarzobjektiv für 355 Nanometer-Anwendungen, mit einer Brennweite von 56 mm und einem Scanfeld von 22 mm. Je nach Applikation ermöglicht die Optik sehr kleine Spotdurchmesser bis zu 4,5 Mikrometer. Das Objektiv ist speziell für den Einsatz in der Mikromaterialbearbeitung konzipiert und für Anwendungen mit ultra-kurzen Pulsen geeignet. Die F-Theta-Objektivfamilie des Unternehmens erfüllt die Anforderungen nahezu aller gängigen Verfahren zur Mikro- und Makromaterialbearbeitung mit Laserlicht. Die Objektive der Jenoptik-F-Theta-Silverline-Reihe sind äußerst robust mit hoher Zerstörschwelle. Die klebstofffreie Fassungstechnologie und Montage der Objektive in einem zertifizierten Reinraum tragen dazu bei, dass alle Objektive kontaminationsfrei und langzeitstabil eingesetzt werden. Durch Prüfung und Vermessung jedes einzelnen Objektivs sichert Jenoptik die hohen Qualitätsstandards. Für Anwendungen, die produkt- oder prozessbedingt einen Objektivwechsel erfordern, ist der Austausch von F-Theta-Objektiven ohne größere Anpassungen der Laseranlage möglich.

www.jenoptik.com

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