Hitachi High-Tech Analytical Science Corporation (Hitachi High-Tech Analytical Science), eine auf Herstellung und Vertrieb von Analyse- und Messgeräten spezialisierte 100%ige Tochter der Hitachi High-Technologies Corporation, stellt das FT160 RFA-Gerät mit drei Basiskonfigurationsoptionen für die Analyse von Beschichtungen im Nanometerbereich vor.
Nach der Einführung der FT160-Serie in Japan vertreibt und wartet Hitachi High-Tech Analytical Science nun die Schichtdickenanalysegeräte dieser Serie in China, Nordamerika, Europa, dem Nahen Osten und Afrika. Diese Generation von Schichtdickenanalysegeräte wurde entwickelt, um den Herausforderungen der Messung ultradünner Beschichtungen auf kleinsten Komponenten gerecht zu werden. Die Lösung ist ein RFA-Tischgerät (Energiedispersive Röntgenfluoreszenz) mit leistungsfähiger Software und Hardware, die für einen hohen Probendurchsatz und qualitativ hochwertige Ergebnisse sorgen. Die Serie wurde entwickelt, um eine Schlüsselrolle bei der Qualitätskontrolle in der Produktion zu spielen und ist in der Lage ein breites Anwendungsspektrum auf dem Markt für Halbleiter-, Leiterplatten- und Elektronikkomponenten zu messen.
Messen von Beschichtungen im nm-Maßstab
Das Gerät verfügt über Highend-Komponenten für die ultimative Analyse von ultradünnen Beschichtungen auf feinen Strukturen. Eine Polykapillaroptik fokussiert den Röntgenstrahl auf einen Durchmesser von 30 µm, wodurch die Probe intensiver angeregt wird und Merkmale gemessen werden, die kleiner sind als dies mit herkömmlichen Kollimatoren möglich ist. Ein hochsensibler, hochauflösender Hightech-Silizium-Driftdetektor (SDD) nutzt die Optik voll aus, um Beschichtungen auf Mikroelektronik und Halbleitern im nm-Maßstab zu messen. Ein hochpräziser Probentisch und eine hochauflösende Kamera mit digitalem Zoom ermöglichen eine schnelle Positionierung der Probenstrukturen, um den Probendurchsatz zu verbessern. Hier sind detaillierte Informationen über das Analysegerät zu finden.
