Scantechnologie mit hohem Durchsatz Präzise Musterabmessung auf Fotomasken - EPP

Scantechnologie mit hohem Durchsatz

Präzise Musterabmessung auf Fotomasken

advantestkw4.jpg
Multi Vision Metrology Scanning Electron Microscope E3650. Foto: Advantest
Anzeige

Der Anbieter von Halbleiter-Testgeräten Advantest Corporation hat das Multi Vision Metrology Scanning Electron Microscope Mask MVM-SEM, das E3650, vorgestellt. Auf Grundlage der vom Unternehmen entwickelten Elektronenstrahl-Scantechnologie misst das neue Tool feine Musterabmessungen auf Fotomasken mit hoher Präzision und Stabilität.

Die Lösung ist das neuste Produkt der E3600 Serie. Diese hat bereits große Akzeptanz auf dem SEM-Markt für Fotomasken gefunden. Mit dem E3650 kann der Messdurchsatz im Vergleich zum Vorgängermodell E3640 verdoppelt werden. Der höhere Durchsatz ermöglicht Messungen, die bei komplexerem Patterning und einer erhöhten Anzahl von Masken aufgrund von mehrfachem Patterning erforderlich sind. Neben den hochmodernen Fotomasken verfügt das neue Tool bei der Messung von EUV Masken und Master Templates für Nanoimprint Anwendungen über eine hervorragende Leistung.

www.advantest.de

Anzeige

Aktuelle Ausgabe

Titelbild EPP Elektronik Produktion und Prüftechnik 11
Ausgabe
11.2018
LESEN
ARCHIV
ABO

Newsletter

Unsere Dosis Wissensvorsprung für Sie. Jetzt kostenlos abonnieren!

Aktuelle Umfrage

Hier geht‘s zur aktuellen Umfrage.

Webinare & Webcasts

Technisches Wissen aus erster Hand

Whitepaper

Hier finden Sie aktuelle Whitepaper

Videos

Hier finden Sie alle aktuellen Videos

productronica


Umfassende Informationen rund um productronica 2017.

Anzeige

Industrie.de Infoservice

Vielen Dank für Ihre Bestellung!
Sie erhalten in Kürze eine Bestätigung per E-Mail.
Von Ihnen ausgesucht:
Weitere Informationen gewünscht?
Einfach neue Dokumente auswählen
und zuletzt Adresse eingeben.
Wie funktioniert der Industrie.de Infoservice?
Zur Hilfeseite »
Ihre Adresse:














Die Konradin Verlag Robert Kohlhammer GmbH erhebt, verarbeitet und nutzt die Daten, die der Nutzer bei der Registrierung zum Industrie.de Infoservice freiwillig zur Verfügung stellt, zum Zwecke der Erfüllung dieses Nutzungsverhältnisses. Der Nutzer erhält damit Zugang zu den Dokumenten des Industrie.de Infoservice.
AGB
datenschutz-online@konradin.de