NanoFocus AG präsentiert das Messsystem µsprint hp-opc 3000 für die optische Inspektion von Probe Cards in der Waferproduktion. Das System wird für die Inspektion von Probe Cards, speziellen Test- Vorrichtungen bei Funktionstests von Wafern, eingesetzt. Da die Prüfvorgänge erst nach vollständiger Herstellung der funktionalen Strukturen auf den Wafern stattfinden können, stellen Beschädigungen während des Testvorgangs einen erheblichen wirtschaftlichen Schaden dar. Das Inspektionssystem ermöglicht an dieser Stelle einen neuartigen und zukunftsweisenden Prozessschritt. Das Messsystem stellt die Unversehrtheit von Wafern nach dem Testvorgang sicher und trägt damit entscheidend zur Reduzierung operativer Kosten, Minimierung von Yield- Verlusten und Qualitätssteigerung in der Waferproduktion bei. Das Potenzial und die Vorteile des Tools wurden beim Einsatz in größeren Wafertest-Standorten mit hohem Durchsatzvolumen und beim Herstellungsprozess von Probe Cards erkannt. Ebenso wurde die hohe Kompatibilität zu bestehenden Probe Card Prüfprozessen sehr positiv aufgenommen. Eine Pilotanlage befindet sich bereits bei einem namhaften Hersteller von Halbleiterelementen erfolgreich im Einsatz. Weitere Aufträge werden für das 3. Quartal 2016 erwartet.
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