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Saphir-Bauteile von Kyocera: chemisch beständig und plasmaresistent

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Saphir-Bauteile von Kyocera: chemisch beständig und plasmaresistent

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Mit direktem Bonding können zum Beispiel Durchflusszellen, Rohre und Elektronenstrahl-Wellenleiter hergestellt werden. Bild: Kyocera Europe GmbH
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Die Saphir-Bauteile von Kyocera unterstützen die Grundlagen der Elektronik und Flüssigkeitsanalytik. Die Bonding-Technologie des Saphir ermöglicht die Nutzung dank der chemischen Beständigkeit, der hohen Stärke, der Plasmaresistenz und der Lichtdurchlässigkeit dieses Materials für den Einsatz in Hochtechnologie-Anwendungen.

Mit der Direktbonding-Technologie von Kyocera kann Saphir mit Saphir oder Saphir mit Aluminiumoxid verklebt werden. Dies ermöglicht die Herstellung von Produkten, die die vorteilhaften Eigenschaften von Saphir nutzen und gleichzeitig die Gestaltungsfreiheit bieten, um Strukturen zu erschaffen, die in ihrem Inneren die Bewegung von Elektronen und Flüssigkeiten ermöglichen. Diese Produkte werden in verschiedenen Bereichen wie der Herstellung von Halbleitern, der Analyse von Bio-Flüssigkeiten und in der angewandten Physik verwendet.

Beispiele für Produkte, die mit direktem Bonding hergestellt wurden:

1. Durchflusszelle: Eine Durchflusszelle ist eine Struktur mit lichtdurchlässigen Kanälen, die es Flüssigkeiten und Gasen ermöglicht, hindurchzufließen und gleichzeitig optisch auf Unreinheiten zu prüfen. Die Zellen sind üblicherweise korrodierenden Chemikalien ausgesetzt, sodass die Verwendung von Saphir aufgrund seiner hohen korrosionsbeständigen Eigenschaft empfohlen wird.

2. Rohre: In Analysegeräten und Halbleiterherstellungsausrüstungen wird ein elliptisches Rohr aus Saphir eingesetzt, das den Strömungsweg korrosiver Gase ermöglicht. Hier können verschiedene Gase verwendet werden, da die hohe Korrosionsbeständigkeit von Saphir zum Tragen kommt. Außerdem kann Plasma direkt im Rohr generiert werden, indem die hohe Isolations- und niedrige dielektrische Verlusteigenschaft für eine hohe Frequenz ausgenutzt wird.

3. Fenster: Aufgrund der Lichtdurchlässigkeit von Saphir in einem umfassenden Wellenlängenbereich von Ultraviolett zu Infrarot ist es geeignet zur Herstellung von Sichtfenstern. Zusätzlich kann es aufgrund seiner Plasma- und Korrosionsbeständigkeit in verschiedenen Prozessen in der Halbleiterherstellung und der Produktion von Flüssigkristallpaneelen genutzt werden.

4. Elektronenstrahl-Wellenleiter: Bei diesem Produkt handelt es sich um eine lange Platte mit einem internen Strömungskanal, die in Elektronenbeschleunigern verwendet wird. Diese langen Röhren können mithilfe der Saphir-Bondingtechnologie geformt werden und sind hochgradig luftdicht, sodass sie in einem Vakuum verwendet werden können. Elektroden können an der Peripherie angebracht und als Beschleuniger für Elektronenstrahlen verwendet werden.

5. Mikrokanal: Dieses Produkt wird durch das Verbinden einer Keramik mit einem eingebauten Kanal und einer Saphir-Abdeckplatte geformt. Flache Kanäle von mehreren hundert Nanometern können auf der Keramikoberfläche geformt werden. Das Produkt wird verwendet für Beobachtungen der Reaktion flüssiger Proben und zur Analyse von Spurenstoffen. Aufgrund des hohen Korrosionswiderstands kann es für alle Chemikalien verwendet werden. (ks)

Kontakt:
Kyocera Europe GmbH
Fritz-Müller-Straße 27
73730 Esslingen
Tel.: +49 711 93934-0
Website: www.kyocera.com

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