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Schnelle Dichtheitsprüfung in der Halbleiterfertigung

Vakuumfertigungsanlagen für Halbleiter: Leckprüfung in Rekordzeit
Schnelle Dichtheitsprüfung von Inficon in der Halbleiterfertigung

Schnelle Dichtheitsprüfung in der Halbleiterfertigung
Mobiles Dichtheitsprüfgerät für Vakuumanlagen mit gesteigerter Geschwindigkeit Bild: Inficon

Die Inficon GmbH stellt die jüngste Generation mobiler Dichtheitsprüfgeräte für Vakuumanlagen vor, in denen etwa Halbleiter-Chips, Solarzellen und Flachbildschirme gefertigt werden. Die neue Version UL6000 Fab PLUS steigert die Geschwindigkeitsbestmarke durch ein weiteres Highlight: die neue, intelligente I∙·RISE Funktion. An eine Leckortung und -beseitigung schließt sich immer eine integrale Dichtheitsprüfung der Anlage mit einer Druckanstiegsmessung an. Der UL6000 Fab PLUS übernimmt jetzt beides: die Leckortung und die Druckanstiegsmessung. I∙·RISE hat dabei einen riesigen Geschwindigkeitsvorteil und absolviert diesen Test innerhalb von 10 Sekunden. Neben I∙·RISE ist auch der Einsatz extrem leistungsfähiger Pumpen ein Grund, warum Geräte dieser Serie sich oft innerhalb weniger Einsätze amortisieren: Dank ihrer Rekordgeschwindigkeit reduzieren die Dichtheitsprüfgeräte Fertigungsunterbrechungen und Stillstandszeiten, beispielsweise bei der Regelwartung einer Anlage, auf das absolute Minimum.

Schnelle Dichtheitsprüfsystem

Die extrem hohe Geschwindigkeit, mit der die Dichtheitsprüfgeräte des Unternehmens die Helium-Dichtheitsprüfung großer Vakuumkammern absolvieren, ist bereits für den nach wie vor erhältlichen UL6000 Fab kennzeichnend. Beide Geräte der Serie verfügen über eine innovative Booster-Turbomolekularpumpe, die Helium mit mehr als 36 l in der Sekunde fördert. Dieses enorme Heliumsaugvermögen ermöglicht ein sehr schnelles Ansprechen des Prüfgeräts, mit sehr kurzen Anstiegs- und Abfallzeiten der Leckrate. Zur Grobevakuierung wurde eine sehr leistungsfähige Rootspumpe mit einem Luftsaugvermögen von 36 m³ pro Stunde verbaut, die kürzeste Evakuierungszeiten gestattet. Ihr Luftsaugvermögen ist über einen weiten Druckbereich insbesondere im Grobvakuum viel höher als bei anderen Vorpumpen. Gerade bei großen Produktionsanlagen mit Volumina zwischen 50 und 1.000 Litern oder mehr ergibt sich so ein Geschwindigkeitsvorteil von etlichen Minuten pro Prüfeinsatz. Auch die Sensitivität der UL6000 Fab Serie ist unübertroffen: Die Geräte detektieren selbst kleinste Lecks bis zu einer Größe von 5 ∙· 1012 mbar∙·l/s völlig zuverlässig.

Rate-of-Rise-Tests an Vakuumkammern

Halbleiter- und Vakuumanlagen werden während des Betriebs kontinuierlich durch Druckanstiegstests überprüft. Wird bei diesem integralen Dichtheitstest eine Leckage festgestellt, ist es oft nicht leicht zu bestimmen, welche der zahlreichen Anschlüsse und Ventile die Undichtigkeit verursachen. Zur Leckortung schließt man den UL6000 Fab PLUS an die Kammer an, um das Leck mit der Heliumsprühmethode zu lokalisieren. Dringt Helium an einer Sprühposition in das Vakuum der Anlage ein, steht fest, dass ein undichter Anschluss gefunden ist. Um aber zu ermitteln, ob dieser Anschluss die einzige Leckstelle ist oder ob es weitere gibt, muss man einen weiteren Druckanstiegstest durchführen, sobald die Leckage beseitigt ist. Die neue Lösung spart in diesem Szenario sehr viel Zeit, weil er die Helium-Sprühmethode und den Druckanstiegstest unmittelbar hintereinander durchführen kann. Zudem verlagert das angeschlossene Dichtheitsprüfgerät durch die I∙·RISE Funktion den Druckanstieg in dem großen Anlagenvolumen in ein im Vergleich dazu besonders kleines internes Volumen – was den integralen Test immens beschleunigt. Früher galt, dass die Dauer eines Rate-of-Rise-Tests von der Größe der zu prüfenden Vakuumkammer abhing. So konnte ein Test mit einem externen Drucksensor leicht zwischen 10 und 60 Minuten dauern – verlorene Produktionszeit.

www.inficon.com

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