Technologiesprung in der Halbleiterindustrie

Ultrafeine Prüfdrähte mit sechsfacher Leitfähigkeit

Leitfähigkeit
Die Mitarbeiterin an der Feindrahtzuganlage prüft die Position des Ziehsteins für die Geradheit des Prüfdrahtes. Foto: Heraeus
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Mit der bis zu sechsfachen Leitfähigkeit und einem um 50 % reduzierten Durchmesser toppen die neuen Prüfdrähte aus einer Rhodiumlegierung von Heraeus Precious Metals Standardmaterialien für die Qualitätskontrolle in der Halbleiterindustrie. Der Technologiekonzern ermöglicht damit eine neue Dimension der Qualitätssicherung in der Mikroprozessorherstellung.

Die ultrafeinen Drähte sind selbst dann einsetzbar, wenn Standarddrähte längst an ihre Grenzen stoßen. Hersteller von Prüfkarten für die Halbleiter- und Elektronikindustrie benötigen den Draht, um daraus Nadeln für die Prüfung von Wafern zu fertigen. Sie müssen ihre Prüfkarten anpassen, um die Herausforderungen der fortschreitenden Miniaturisierung zu meistern.

Über zwei- bis sechsfache Leitfähigkeit

Die Schlüsselmerkmale eines guten Prüfdrahtes sind die elektrische Leitfähigkeit, Härte und eine dünne Geometrie. In puncto Leitfähigkeit übertreffen die Neuerungen aus Hanau die am Markt verfügbaren Legierungen. Die Leitfähigkeit der Heraeus Produkte liegt bei über 30 % IACS, die konventioneller Drähte bei lediglich fünf bis 14 % IACS. Die Drähte sind elastisch und weisen gleichzeitig eine hohe mechanische Festigkeit auch bei hohen Temperaturen auf. So sind sie über viele Belastungszyklen verwendbar. Je nach Bedarf nutzt der Technologiekonzern unterschiedliche Edelmetalle wie beispielsweise Palladium, Platin oder Rhodium, um gerade Drähte auf Spulen oder als Drahtabschnitte herzustellen.

Bis zu 50 Prozent feiner als der Standard

Die Qualitätskontrolle ist das Herzstück der Halbleiterproduktion. Auf einem Wafer befinden sich bis zu mehrere Hundert Halbleiterchips, von denen jeder einzelne zu 100 % auf Funktionsfähigkeit zu prüfen ist. Aufgrund der fortschreitenden Miniaturisierung der Transistoren eines Chips und der damit einhergehenden steigenden Anzahl von Transistoren pro Chip sind kontinuierlich dünnere Prüfnadeln auf engstem Raum notwendig. Derzeit bis zu 30.000 auf der Größe einer Briefmarke. Die neuen Drähte von Heraeus sind mit einem Durchmesser von unter 20 µm nur etwa ein Viertel so dick wie ein menschliches Haar und bis zu 50 % feiner als Standarddrähte. Damit ermöglichen sie neue Maßstäbe für die Qualitätskontrolle in der Halbleiterherstellung.

www.heraeus.com

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