Firmen im Artikel
Traditionell stammen wichtige Fertigungstechnologien für die Halbleiterherstellung aus Europa. Damit dies auch in Zukunft so bleibt, fördert die Europäische Union mit dem Projekt 14ACMOS die Entwicklung des nächsten Technologieknotens. Er soll die Herstellung von Chipstrukturen mit Abmessungen bis hinunter zu 14 Angström ermöglichen. Physik Instrumente (PI) beteiligt sich an dem Forschungsprogramm mit der Entwicklung hochpräziser Positioniersysteme mit Genauigkeiten von unter einem Millionstel Millimeter.
Aktuell entsprechen mit der 3-nm-Technologie produzierte High-End-Mikrochips dem Stand der Technik. Bereits im nächsten Jahr sollen Fertigungstechnologien für den 2-nm-Technologieknoten zur Verfügung stehen und bis 2027 für 1,4 nm, also 14 Angström (Angström wird als Maß zur Beschreibung von Atomabständen genutzt. Ein Angström entspricht einem zehnmillionsten Millimeter oder 0,1 Nanometern (nm). Zum Vergleich: Ein menschliches Haar ist etwa 80.000 Nanometer dick). Das mit 95 Millionen Euro dotierte Forschungsprojekt 14ACMOS wird von der EU kofinanziert und vom „Gemeinsamen Unternehmen für Chips (Chips JU)“ unterstützt. Es bündelt das Knowhow und die Entwicklungskompetenz der führenden Ausrüster der Halbleiterindustrie Europas. Koordiniert wird das Projekt, an dem 25 Partner aus sechs Ländern beteiligt sind, von ASML, dem niederländischen Weltmarktführer für Lithografiesysteme zur Halbleiterherstellung.
PI ist seit Jahrzehnten Systempartner für die Halbleiterindustrie und mit Positioniersystemen in zahlreichen Bereichen der Halbleiterfertigung weltweit vertreten. Die Produkte des Spezialisten für die Nanopositionierung kommen heute schon beispielsweise bei der Lithografie oder der Metrologie für die Qualitätskontrolle zum Einsatz. Die im Rahmen des Projektes 14ACMOS zu entwickelnden Positioniersysteme müssen auch unter Vakuumbedingungen präzise und hochdynamisch funktionieren, damit sie wirtschaftlich einsetzbar sind. Der Link zum Projekt.
