Die Einsatzbereiche der vor zwei Jahren von MK Versuchsanlagen und Laborbedarf e.K. neu eingeführten Nasswerkbank sind äußerst vielfältig. Besonders geeignet ist die metallfreie Anlage für den Einsatz in der Halbleiterindustrie: Substratreinigung und Vor- sowie Nachbehandlung von Silizium-Wafern, Glassubstraten und allen weiteren Ausgangs- und Endprodukten in diesen Produktionsfeldern sind möglich.
Besonderes Augenmerk haben die Entwickler des Unternehmens auf das intelligente Lüftungsmanagement gelegt, welches Energieeinsparungen von bis zu 50 Prozent ermöglicht. Die stetige Überwachung der Nasswerkbank sorgt dafür, dass der Volumenstrom der eingebrachten Luft automatisch angepasst wird. Gesteuert werden die Regelgrößen dabei über eigene SPS-Module. Mögliche Regelkreise wie Aktivitäts- oder Partikelüberwachung werden dabei je nach Einsatzzweck individuell definiert und implementiert. Energetische Verbesserungen sind außerdem als „retrofit“ für bestehende Labore in vielen Fällen möglich.
Semicon, Stand B1.161
