Die amcoss GmbH hat eine vollautomatische amc 2000 Waferbearbeitungsanlage für die Belackung und Entwicklung von Wafern an Jenoptik in Berlin-Adlershof geliefert. Als Hersteller für kantenemittierende Halbleiterlaser mit hoher Leistung setzt das Unternehmen die Anlage in der Lithografie für die Prozessierung der Wafer zu Halbleitern ein.
„Die amcoss Anlage wurde als Ersatz angeschafft. Ziel ist eine signifikante Kapazitäts- und Ausbeutesteigerung gegenüber der bisher eingesetzten Anlage, was die Produktivität spürbar erhöhen wird. Außerdem benötigen wir eine optimierte Waferzentrierung und flexiblere Anwendungsmöglichkeiten von 3“- und 4“-Wafern mit der besseren Waferzentrierung. Mit der amc 2000 können wir diese Ziele erreichen sowie die Qualität und Effizienz in der Waferbearbeitung steigern“, erklärt Dr. Jürgen Sebastian, Standortleiter des Jenoptik-Werks in Berlin, wo Hochleistungsdiodenlaser für medizinische Anwendungen, die Materialbearbeitung, für Forschung und Entwicklung sowie als Pumpquellen für Festkörperlaser hergestellt werden.
Die Waferbearbeitungsanlagen werden genau nach Wunsch und Bedarf des jeweiligen Kunden konfiguriert. Keine Anlage gleicht der anderen. „Wir haben keine Massenproduktion, sondern bei jeder unserer Maschinen handelt es sich um ein hochkomplexes Einzelstück. Das ist unsere Stärke“, erklärt Firmeninhaber David Erne. „Somit wurde die amc 2000 für Jenoptik für höchsten Durchsatz angelegt. Mit ihrem Dual Arm Handler und den vier Loadport-Stationen für den Parallelbetrieb von bis zu vier Prozessen ist sie ein absolutes Hochdurchsatz-Tool.“ Neben dem platzsparend integrierten Alignment-on-the-fly kann wahlweise auch der Prealigner verwendet werden, wenn eine Flat-Ausrichtung notwendig ist.
Höchste Flexibilität bei Waferdurchmessern und Anwendungen
Ein Grund mehr für die Entscheidung für die Anlage ist ihr absolut anpassungsfähiges Design. Es handelt sich bei ihr um ein echtes Bridgetool. Jenoptik ist damit in der Lage, verschiedene Wafergrößen – vor allem die notwendigen 3“- und 4“-Durchmesser – ohne Adaptierungen beim Größenwechsel gleichzeitig in der Maschine zu prozessieren. Erhöht wird diese Flexibilität durch die Ausstattung mit 5 Dispense Lines mit innovativem, einzigartigen Einzeldüsengreifersystem und einer zusätzlichen Syringe. Diverse Hot- und Coolplates, eine spezielle Vapor Prime Hotplate und ein effizientes EBR-System runden die Konfiguration ab.
„Wir freuen uns sehr, dass ein angesehenes Unternehmen wie Jenoptik uns als Partner ausgesucht hat.“, sagt David Erne. „Die Qualität ihrer branchenführenden Diodenlaser basiert auf fortschrittlichsten Fertigungsmethoden und Prozesstechnologien, die wir mit unseren Anlagen und Prozessen unterstützen dürfen.“
Neben der neuen Waferbearbeitungsanlage wurde im Werk in Dresden eine amc 2500 Anlage von amcoss installiert. Somit sind eine nachhaltige Unterstützung beim Einsatz der Anlagen und Synergieeffekte beim langfristigen Service gewährleistet.
Der Hersteller entwickelt und produziert absolut kundenspezifische voll- und halbautomatische Bearbeitungsanlagen für die Belackung, Entwicklung, Temperierung und Reinigung sowie das Lift-off und Ätzen von Substraten und Masken aus verschiedensten Materialien.
Jenoptik ist mit ihrer Division Light & Optics ein weltweit aktiver OEM-Anbieter von Systemlösungen und Produkten, die auf photonischen Technologien basieren. Das Unternehmen vereint hierin umfassendes Fachwissen aus Optik, Lasertechnik, digitaler Bildverarbeitung, Optoelektronik und Software. Unter der Marke Trioptics bietet das Unternehmen optische Mess- und Fertigungssysteme für die Qualitätskontrolle von Linsen, Objektiven und Kameramodulen an.
