200 mm Wafer Testsystem

Keithley Instruments stellt ein kompaktes, sofort einsatzfähiges parametrisches Testsystem mit geringen Pin-Kosten vor. Das S470 wurde für den Produktionstest von 200 mm Wafern in der 130 nm CMOS-Technologie und darüber hinaus optimiert. Es kann schnell und genau unterschiedliche I-V- und C-V-Messungen an CMOS-, bipolaren und GaAs-ICs, einschließlich Automotive- und Telekommunikations-ICs, LCDs sowie anderen Bauteilen durchführen. Die einfache Bedienung beschleunigt die Testprogrammierung als auch den Betrieb. Die Applikationssoftware ist die neueste Version der Keithley Test Environment mit einem Test Executive und einer Bedienerschnittstelle, die identisch mit den anderen Modellen der S400 Serie und den Modellen der Serie S600 ist. Das vereinfacht die Migration von Testprogrammen und durch regelmäßige System-Upgrades wird eine maximale Hardware- und Software-Wiederverwendung erreicht. Die Kombinationslösung S470 wird als 24-Pin-Konfiguration, einschließlich Probe-Card-Adapter und Verkabelung sowie mit vollständigen Guarding- und Kelvin-Verbindungen zu den Messspitzen geliefert. Das Basissystem beinhaltet vier DC I-V-Source-Mesure Units, ein 100 kHz Kapazitäts-/Leitwertmessgerät, ein Picoamperemeter, das sich auf alle Pins schalten lässt und eine Messauflösung von weniger als 10 fA bietet, und eine Systemreferenzeinheit mit Kalibrierung und Diagnosesoftware. Die Bediensoftware KTE v5.1 stellt eine robuste Plattform für die Testentwicklung, Auswahl von Verfahrensanweisungen und Testausführung zur Verfügung.

EPP 480